Optical etendue matching methods for extreme ultraviolet metrology
Номер патента: US11968772B2
Опубликовано: 23-04-2024
Автор(ы): Daniel C. Wack, Larissa Juschkin, Zefram Marks
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-04-2024
Автор(ы): Daniel C. Wack, Larissa Juschkin, Zefram Marks
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extreme ultraviolet light generating apparatus and control method for centroid of extreme ultraviolet light
Номер патента: US10251254B2. Автор: Yuichi Nishimura,Takayuki Yabu. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2019-04-02.