Transistor with airgap spacer
Номер патента: US20180197966A1
Опубликовано: 12-07-2018
Автор(ы): Chen-Guan LEE, Chia-Hong Jan, En-Shao LIU, Everett S. CASSIDY-COMFORT, Joodong Park, Walid M. Hafez
Принадлежит: Intel Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-07-2018
Автор(ы): Chen-Guan LEE, Chia-Hong Jan, En-Shao LIU, Everett S. CASSIDY-COMFORT, Joodong Park, Walid M. Hafez
Принадлежит: Intel Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Transistor with airgap spacer
Номер патента: EP3326206A1. Автор: Walid M. Hafez,Chia-Hong Jan,Joodong Park,Chen-Guan LEE,En-Shao LIU,Everett S. CASSIDY-COMFORT. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2018-05-30.