Improved uniformity for semiconductor patterning operations
Номер патента: WO2009091664A1
Опубликовано: 23-07-2009
Автор(ы): Christophe Pierrat
Принадлежит: CADENCE DESIGN SYSTEMS, INC.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-07-2009
Автор(ы): Christophe Pierrat
Принадлежит: CADENCE DESIGN SYSTEMS, INC.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Uniformity for semiconductor patterning operations
Номер патента: US20100299646A1. Автор: Christophe Pierrat. Владелец: Cadence Design Systems Inc. Дата публикации: 2010-11-25.