Camera stage for ic inspection machine
Реферат: 검사 스테이지에 안착된 집적회로를 2면 내지 4면에서 검사할 수 있도록 스테이지에 장착된 카메라를 X,Y,Z방향으로 연동시킬 수 있도록 하여 집적회로의 사이즈에 따라 상호 동기되는 광축을 집적회로의 중심과 일치시킴은 물론 초점조절이 용이하게 이루어지도록 하고, 수평상태를 정확하게 보전함에 따라 정확한 검사가 이루어짐과 아울러 외부의 충력에 의해 야기될 수 있는 편차가 발생되지 않도록 함으로써 측정 오차를 줄여 검사 정도를 향상시킬 수 있는 집적회로 검사장치의 카메라 장착용 스테이지를 제공하는 데 그 목적이 있다. The cameras mounted on the stage can be interlocked in X, Y, and Z directions so that the integrated circuit mounted on the inspection stage can be inspected from 2 to 4 sides. It is easy to adjust the focus as well as the center of gravity, and the accurate inspection is carried out by maintaining the horizontal state accurately, and the measurement accuracy is reduced by reducing the measurement error by preventing the deviation that may be caused by external force. It is an object of the present invention to provide a camera mounting stage of an integrated circuit inspection apparatus that can be improved.
이에 따라 지지대에 고정 설치된 베이스에 안내됨은 물론 조정수단에 의해 연동되는 제 1슬라이더로 이루어진 Y축 이송부와 ; 상기한 Y축 이송부의 제1슬라이더에 고정 설치된 가이드에 안내됨은 물론 가이드에 고정 설치된 조정수단에 의해 연동되는 제2슬라이더로 이루어진 X축 이송부와 ; 상기한 X축 이송부의 제 2슬라이더에 고정 설치된 가이드에 안내됨은 물론 조정수단에 의해 승강 가능한 제 3슬라이더로 이루어진 Z축 이송부와; 상기한 Z축 이송부의 제 3 슬라이더 상측에 고정 설치됨은 물론 카메라가 장착된 장착대로 이루어진 검사부를 포함하는 것을 특징으로 한다. Accordingly, the Y-axis feeder made of a first slider which is guided to the base fixed to the support as well as interlocked by the adjusting means; An X-axis feeder composed of a second slider guided by a guide fixedly mounted to the first slider of the Y-axis feeder and fixedly fixed to the guide; A Z-axis feeder configured to be guided to the guide fixedly mounted to the second slider of the X-axis feeder, as well as to a third slider that can be lifted by an adjusting means; It is characterized in that it comprises a test unit made of a mounting table mounted to the camera as well as fixed to the upper side of the third slider of the Z-axis transfer unit.
Ic inspection socket
Номер патента: US20240168054A1. Автор: Yuki Matsui,Kohei AMADA. Владелец: Yokowo Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-23.