Semiconductor device having self-aligned gate contacts
Номер патента: US09484205B2
Опубликовано: 01-11-2016
Автор(ы): Josephine B. Chang, Michael A. Guillorn, Paul Chang
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-11-2016
Автор(ы): Josephine B. Chang, Michael A. Guillorn, Paul Chang
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor device having self-aligned gate contacts
Номер патента: US09941129B2. Автор: Josephine B. Chang,Michael A. Guillorn,Paul Chang. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-04-10.