Rotary magnet sputtering apparatus
Номер патента: US20100126852A1
Опубликовано: 27-05-2010
Автор(ы): Tadahiro Ohmi, Takaaki Matsuoka, Tetsuya Goto
Принадлежит: Tohoku University NUC, Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-05-2010
Автор(ы): Tadahiro Ohmi, Takaaki Matsuoka, Tetsuya Goto
Принадлежит: Tohoku University NUC, Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Sputtering apparatus and sputtering method
Номер патента: US11705315B2. Автор: Hiroyuki Toshima,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-18.