Isolated Germanium nanowire on Silicon fin
Номер патента: US7851790B2
Опубликовано: 14-12-2010
Автор(ы): Been-Yih Jin, Ravi Pillarisetty, Robert Chau, Willy Rachmady
Принадлежит: Intel Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-12-2010
Автор(ы): Been-Yih Jin, Ravi Pillarisetty, Robert Chau, Willy Rachmady
Принадлежит: Intel Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method to form a cylindrical germanium nanowire device on bulk silicon substrate
Номер патента: US20160064531A1. Автор: Deyuan Xiao. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-03-03.