• Главная
  • Polishing pad, method for manufacturing polishing pad, and polishing method

Polishing pad, method for manufacturing polishing pad, and polishing method

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Methods for making reinforced wafer polshing pads and apparatuses implementing the same

Номер патента: EP1345733A1. Автор: Fen Dai,Cangshan Xu,Eugene Y. Zhao. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2003-09-24.

Polishing pad and method for producing same

Номер патента: US11780057B2. Автор: Sunghoon YUN,Jang Won Seo,Joonsung RYOU,Tae Kyoung Kwon. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-10.

Method for polishing a semiconductor wafer on both sides

Номер патента: US20200039020A1. Автор: Vladimir Dutschke. Владелец: SILTRONIC AG. Дата публикации: 2020-02-06.

Apparatus for printing a chemical mechanical polishing pad

Номер патента: US09457520B2. Автор: Rajeev Bajaj,Terrance Y. Lee,Barry Lee Chin. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-04.

Polishing pads and systems and methods of making and using the same

Номер патента: EP3359335A1. Автор: David F. Slama,Duy K. LEHUU. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2018-08-15.

Printing a chemical mechanical polishing pad

Номер патента: US20230278159A1. Автор: Rajeev Bajaj,Terrance Y. Lee,Barry Lee Chin. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-09-07.

Method of forming structured-open-network polishing pads

Номер патента: US9108291B2. Автор: Hamed Lakrout. Владелец: Dow Global Technologies LLC. Дата публикации: 2015-08-18.

Printing a chemical mechanical polishing pad

Номер патента: US12011801B2. Автор: Rajeev Bajaj,Terrance Y. Lee,Barry Lee Chin. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-18.

Polishing pad, conditioner and method for polishing the same

Номер патента: MY135978A. Автор: Lee Hyun Woo,KIM Sung Min,Kim Jae Seok,KIM Geon,LEE Jong Myung,Lee Ju Yeol,Park In Ha,Song Eu Gene. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-07-31.

Polishing pad, polishing apparatus, and polishing method

Номер патента: US20240189959A1. Автор: Keisuke Namiki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-06-13.

Printed chemical mechanical polishing pad having particles therein

Номер патента: US11794308B2. Автор: Kasiraman Krishnan,Nag B. Patibandla,Periya Gopalan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-24.

Polishing apparatus, method for controlling the same, and method for outputting a dressing condition

Номер патента: US09962804B2. Автор: Hiroyuki Shinozaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-05-08.

Chemical mechanical polishing apparatus and chemical mechanical polishing method

Номер патента: US20240278383A1. Автор: Dongchan Kim,Byoungho Kwon,Hwiyoung JEONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-22.

Polishing pad, polishing apparatus and a method for polishing silicon wafer

Номер патента: US11471997B2. Автор: Yue Xie,Youhe Sha. Владелец: Zing Semiconductor Corp. Дата публикации: 2022-10-18.

Polishing pad, polishing apparatus and a method for polishing silicon wafer

Номер патента: US20220009051A1. Автор: Yue Xie,Youhe Sha. Владелец: Zing Semiconductor Corp. Дата публикации: 2022-01-13.

Polishing pad and method for producing same

Номер патента: MY159320A. Автор: Kenji Nakamura,Yoshiyuki Nakai,Kazuyuki Ogawa. Владелец: Rohm & Haas Elect Materials Cmp Holdings Inc. Дата публикации: 2016-12-30.

Chemical-mechanical polishing pad and chemical-mechanical polishing method

Номер патента: US20130189907A1. Автор: Yukio Hosaka,Takahiro Okamoto,Kotaro Kubo. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2013-07-25.

Polishing pad conditioning method and polishing apparatus

Номер патента: TW201718177A. Автор: Masanao Sasaki,Takuya Sasaki,Tatsuo Enomoto,Taichi Yasuda,Kazumasa Asai. Владелец: Shin-Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-01.

METHOD FOR FORMING OPEN LAMINATED NETWORK POLISHING PADS

Номер патента: FR2980389B1. Автор: Hamed Lakrout. Владелец: Dow Global Technologies LLC. Дата публикации: 2016-11-04.

Polishing head for wafer, and method for polishing

Номер патента: EP1268133A1. Автор: Walter Glashauser,David Haggart,Katrin Ebner,Lutz Teichgraeber. Владелец: Semiconductor 300 GmbH and Co KG. Дата публикации: 2003-01-02.

Laminated polishing pad and method for producing same

Номер патента: US20150079879A1. Автор: Kenji Nakamura. Владелец: Toyo Tire and Rubber Co Ltd. Дата публикации: 2015-03-19.

Laminated polishing pad and method for producing same

Номер патента: US09636796B2. Автор: Kenji Nakamura. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2017-05-02.

Polishing system, polishing pad and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US12042900B2. Автор: Kyung Hwan Kim,Jang Won Seo,Jae In Ahn,Kang Sik F Myung. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Method and apparatus for dressing polishing pad

Номер патента: US20110312254A1. Автор: Harumichi Koyama. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-12-22.

Polishing method, and polishing apparatus

Номер патента: US20240181594A1. Автор: Keita Yagi,Yoichi Shiokawa,Toshimitsu Sasaki,Yuki Watanabe,Nachiketa Chauhan,Masashi KABASAWA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-06-06.

Chemical mechanical polishing with multiple polishing pads

Номер патента: US20030190865A1. Автор: Sasson Somekh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-10-09.

Method for forming concave portion of polishing pad and polishing pad

Номер патента: CN109562506B. Автор: 大石邦晴,海野达广. Владелец: Daiki Co Ltd. Дата публикации: 2021-11-12.

Polishing pad, polishing device, and polishing method

Номер патента: CN100365773C. Автор: 涩木俊一. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2008-01-30.

Polishing pad, polishing device, and polishing method

Номер патента: CN1628374A. Автор: 涩木俊一. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2005-06-15.

Polishing pad and preparing method of semiconductor device

Номер патента: US20240300066A1. Автор: Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Chang Gyu Im,Joon Ho An. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Polishing pad and method for manufacturing polishing pad

Номер патента: US20240139903A1. Автор: Hiroshi Kurihara,Teppei Tateno,Satsuki YAMAGUCHI,Yamato TAKAMIZAWA. Владелец: Fujibo Holdins Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Semiconductor substrate polishing with polishing pad temperature control

Номер патента: EP4169058A1. Автор: Masaaki Ikeda. Владелец: GlobalWafers Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-26.

Polishing pad and method for producing the same

Номер патента: MY153842A. Автор: Kenji Nakamura,Takeshi Fukuda,Akinori Sato,Junji Hirose,Masato Doura. Владелец: Toyo Tire & Rubber Co. Дата публикации: 2015-03-31.

Double-side polishing method and double-side polishing apparatus

Номер патента: US20180361530A1. Автор: Yuki Tanaka,Shiro Amagai. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2018-12-20.

Polishing pad

Номер патента: US09707663B2. Автор: Satoshi Yanagisawa,Hiroyasu Kato,Masaharu Wada,Yukihiro Matsuzaki,Hajime Nishimura,Kuniyasu Shiro. Владелец: Toray Coatex Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-18.

Apparatus for polishing and method for polishing

Номер патента: US20200039029A1. Автор: Hiroshi Sotozaki,Tadakazu Sone,Pohan CHEN. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-02-06.

Method of adhering polishing pads and jig for adhering the same

Номер патента: MY138787A. Автор: Yoshio Nakamura,Harumichi Koyama. Владелец: Fujikoshi Machinery Corp. Дата публикации: 2009-07-31.

CMP polishing pad with polishing elements on supports

Номер патента: US11833638B2. Автор: Bryan E. Barton,John R. McCormick. Владелец: Rohm And Haas Electronic Materials Holding Inc. Дата публикации: 2023-12-05.

Work polishing method and work polishing apparatus

Номер патента: US20180207768A1. Автор: Kazutaka Shibuya,Yoshio Nakamura,Kenichi Ishikawa,Michio Uneda. Владелец: Fujikoshi Machinery Corp. Дата публикации: 2018-07-26.

Polishing pad and apparatus for polishing a semiconductor wafer

Номер патента: US6077153A. Автор: Takashi Fujita,Yuzo Kozai,Motoyuki Ohara. Владелец: Sumitomo Metal Industries Ltd. Дата публикации: 2000-06-20.

Wafer polishing method and wafer polishing device

Номер патента: US20230330809A1. Автор: Yuki Nakano,Hiroki Ota. Владелец: Sumco Corp. Дата публикации: 2023-10-19.

Polishing pad, double-side polishing device, and double-side polishing method for wafer

Номер патента: US20240009799A1. Автор: Junichi Ueno. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-11.

Polishing pad and preparing method of semiconductor device using the same

Номер патента: US20230110921A1. Автор: Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Eun Sun JOENG,Sung Hoon Yun. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-13.

Polishing pad and polishing method using same

Номер патента: US20190232460A1. Автор: Minori Takegoshi,Mitsuru Kato,Chihiro Okamoto,Shinya Kato. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-01.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US11618123B2. Автор: Tetsuji Togawa,Atsushi Yoshida,Yu Ishii. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-04-04.

Polishing device and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20230047113A1. Автор: Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Eun Sun JOENG,Jae In Ahn. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-16.

Fluid dispensing fixed abrasive polishing pad

Номер патента: WO2001024969A2. Автор: Liming Zhang,Andrew Black,Landon Vines. Владелец: Philips Semiconductors, Inc.. Дата публикации: 2001-04-12.

Polishing pad comprising window similar in hardness to polishing layer

Номер патента: US11964360B2. Автор: Sunghoon YUN,Jang Won Seo,Jaein AHN,Joonsung RYOU. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-23.

Polishing pad

Номер патента: US20230364736A1. Автор: Hiroshi Kurihara,Yoshihide Kawamura,Teppei Tateno,Ryuma Matsuoka,Yamato TAKAMIZAWA,Satsuki Narushima,Keisuke Ochi,Tetsuaki KAWASAKI. Владелец: Fujibo Holdins Inc. Дата публикации: 2023-11-16.

Method for polishing semiconductor substrate

Номер патента: US11999027B2. Автор: Chi-Ming Yang,He Hui Peng,James Jeng-Jyi Hwang,Jiann Lih Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-06-04.

Polishing pad

Номер патента: EP4382250A1. Автор: Minori Takegoshi,Mitsuru Kato,Azusa SUNAYAMA. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-12.

Polishing pad assembly with glass or crystalline window

Номер патента: US7614933B2. Автор: Dominic J. Benvegnu,Jeffrey Drue David,Bogdan Swedek. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2009-11-10.

Temperature regulating apparatus and polishing apparatus

Номер патента: US12023777B2. Автор: Toru Maruyama,Yasuyuki Motoshima,Keisuke Kamiki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-07-02.

Polishing pad

Номер патента: MY153331A. Автор: Nakamura Kenji,Fukuda Takeshi,SATO Akinori,Doura Masato,Hirose Junji. Владелец: Toyo Tire & Rubber Co. Дата публикации: 2015-01-29.

Apparatus and method for monitoring chemical mechanical polishing

Номер патента: US20240051085A1. Автор: Jung-Chih Tsao,Jun-Nan Nian. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-02-15.

Polishing pads for a semiconductor substrate

Номер патента: AU4982799A. Автор: Frank B. Kaufman,Sriram P. Anjur,Roland K. Sevilla. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2000-02-01.

Polishing pads for a semiconductor substrate

Номер патента: MY133820A. Автор: Roland K Sevilla,Frank B Kaufman,Sriram P Anjur. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2007-11-30.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US09782870B2. Автор: Hisanori Matsuo,Toru Maruyama,Yasuyuki Motoshima. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-10-10.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US20190118334A1. Автор: Hisanori Matsuo,Toru Maruyama,Yasuyuki Motoshima. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-04-25.

Soft polishing pad for polishing a semiconductor substrate

Номер патента: MY164313A. Автор: Ping Huang,William Allison,Diane Scott,Robert Kerprich,Richard Frentzel. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2017-12-15.

Polishing pads, polishing tools, and polishing methods

Номер патента: JPWO2020054823A1. Автор: 堀田 和利,和利 堀田,恭祐 天▲高▼,翔太 菱田,大祐 安井,英治 長谷. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2021-08-30.

Chemical mechanical polishing apparatus and method of replacing polishing pad using the same

Номер патента: US20240217057A1. Автор: Chungki MIN,Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-04.

Chemical mechanical polishing pad and chemical mechanical polishing method

Номер патента: TW201201962A. Автор: Yukio Hosaka,Takahiro Okamoto,Kotaro Kubo. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2012-01-16.

Polishing pad sheet, polishing pad, and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US12138736B2. Автор: Kyung Hwan Kim,Jang Won Seo,Jae In Ahn,Sung Hoon Yun. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-11-12.

Method for polishing using polishing pad provided with adsorption layer

Номер патента: US20200147749A1. Автор: Daisuke Ninomiya,Toshiyasu Yajima. Владелец: Maruishi Sangyo Co Ltd. Дата публикации: 2020-05-14.

Polishing pad and method for producing same

Номер патента: EP1622193A4. Автор: Mitsuru Saito,Toshihiro Izumi,Takuya Nagamine,Hisatomo Ohno,Ichiro Kodaka,Claughton Miller. Владелец: Nihon Micro Coating Co Ltd. Дата публикации: 2008-08-20.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US09676076B2. Автор: Hozumi Yasuda,Keisuke Namiki,Shingo Togashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-06-13.

Method and apparatus for conditioning a polishing pad

Номер патента: US09533395B2. Автор: Takahiro SHIMANO,Mutsumi Tanikawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-01-03.

Polishing apparatus having temperature regulator for polishing pad

Номер патента: US09475167B2. Автор: Tadakazu Sone,Toru Maruyama,Yasuyuki Motoshima. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Surface treatment method of polishing pad and polishing method of wafer using the same

Номер патента: WO2013069938A1. Автор: Sehun CHOI,Kyeongsoon KIM,Younghee MOON. Владелец: LG Siltron Inc.. Дата публикации: 2013-05-16.

Wafer polishing pad centering apparatus

Номер патента: US20020086632A1. Автор: Terrence Stemm. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2002-07-04.

Method of machining semiconductor wafer-use polishing pad and semiconductor wafer-use polishing pad

Номер патента: EP1447841A4. Автор: Nobuo Kawahashi,Kou Hasegawa,Hiroshi Shiho. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2007-08-15.

Method and apparatus for conditioning a polishing pad

Номер патента: US09469013B2. Автор: Takahiro SHIMANO,Mutsumi Tanikawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2016-10-18.

Polishing pad and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20230381913A1. Автор: Boun Yoon,Kihoon JANG,Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-11-30.

Chemical mechanical polishing device and polishing method

Номер патента: US20240227122A9. Автор: Kai-Yao Shih,Ming-Hsiang Chen,Shih-Ci Yen. Владелец: Powerchip Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Method for adaptive feedback controlled polishing

Номер патента: US09573243B2. Автор: Terry Moore,Brant Nease. Владелец: Headway Technologies Inc. Дата публикации: 2017-02-21.

Tank and method for producing polishing pad using tank

Номер патента: MY163432A. Автор: Hiroshi Seyanagi. Владелец: Rohm & Haas Elect Materials Cmp Holdings Inc. Дата публикации: 2017-09-15.

Method of regulating a surface temperature of polishing pad, and polishing apparatus

Номер патента: US20190308293A1. Автор: Mitsunori Komatsu,Keisuke Kamiki,Masashi KABASAWA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-10-10.

Substrate processing device and method for operating the same

Номер патента: US20240234164A1. Автор: Ki Hoon Jang,Won Keun Cho,Dong Hoon KWON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-11.

Wafer polishing method

Номер патента: US20210098316A1. Автор: Yasuyuki Takeishi. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2021-04-01.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: EP1417703B1. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-06.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: EP1417703A1. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2004-05-12.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: EP1417703A4. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-04-09.

Apparatus and method for manufacturing semiconductor structure

Номер патента: US20230381914A1. Автор: Chun-Hsi Huang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

Polishing pad

Номер патента: US09737972B2. Автор: Kenji Nakamura. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2017-08-22.

Apparatus and method for shaping polishing pads

Номер патента: MY133665A. Автор: Robert J Walsh. Владелец: Memc Electronic Materials. Дата публикации: 2007-11-30.

Polishing pad

Номер патента: US20240157505A1. Автор: Osamu Kinoshita,Kazuo Shoji. Владелец: Universal Photonics Far East Inc. Дата публикации: 2024-05-16.

Method and system for monitoring polishing pad before cmp process

Номер патента: US20180169825A1. Автор: Yen-Chih Chen,Yi-Chang Liu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-06-21.

Polishing platen and polishing apparatus

Номер патента: WO2007032517A1. Автор: Nobuyuki Takahashi,Tadakazu Sone,Takuji Kobayashi,Hiroomi Torii,Takashi Tsuzuki,Hideo Aizawa,Masao Umemoto. Владелец: EBARA CORPORATION. Дата публикации: 2007-03-22.

Method for producing silicon wafer

Номер патента: US09425056B2. Автор: Hiromasa Hashimoto,Takuya Sasaki,Kazuya Sato,Ayumu Sato. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2016-08-23.

A preconditioner for a polishing pad and method for using the same

Номер патента: IE960095A1. Автор: James Michael Mullins. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 1996-08-07.

Polishing apparatus and polishing pad

Номер патента: EP1395394A1. Автор: Shinro c/o Ebara Corporation OHTA,Kazuo c/o Ebara Corporation SHIMIZU. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2004-03-10.

An edge polishing machine and edge polishing method thereby

Номер патента: MY153952A. Автор: Hiroaki Tanaka,Yoshihisa Ogawa,Akira Yoshida,Yusuke Inoue. Владелец: Speedfam Ipec Co Ltd. Дата публикации: 2015-04-15.

Method for the double-side polishing of a semiconductor wafer

Номер патента: US9308619B2. Автор: Juergen Schwandner. Владелец: SILTRONIC AG. Дата публикации: 2016-04-12.

Polishing method

Номер патента: US20180369984A1. Автор: Kaoru Ishii,Michito Sato,Masaaki Oseki. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2018-12-27.

Chemical mechanical polishing pad with micro-holes

Номер патента: EP1430520A1. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2004-06-23.

Chemical mechanical polishing pad with micro-holes

Номер патента: EP1430520A4. Автор: Jae-Seok Kim,In-Ha Park,Tae-Kyoung Kwon. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-04-09.

Polishing head and polishing apparatus

Номер патента: US20150017890A1. Автор: Hisashi Masumura. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2015-01-15.

Substrate holding apparatus and polishing apparatus

Номер патента: US09550268B2. Автор: Hiroyuki Shinozaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

Chemical mechanical polishing pad with clear endpoint detection window

Номер патента: US20150306730A1. Автор: Bainian Qian,Marty W. Degroot. Владелец: Dow Global Technologies LLC. Дата публикации: 2015-10-29.

Chemical mechanical polishing pad with clear endpoint detection window

Номер патента: US09333620B2. Автор: Bainian Qian,Marty W. Degroot. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2016-05-10.

Polishing pad and method for manufacturing same

Номер патента: US11883925B2. Автор: Hiroshi Kurihara,Ryuma Matsuoka,Yamato TAKAMIZAWA,Satsuki Narushima. Владелец: Fujibo Holdins Inc. Дата публикации: 2024-01-30.

Substrate holder, polishing apparatus, and polishing method

Номер патента: US09662764B2. Автор: Hozumi Yasuda,Osamu Nabeya,Makoto Fukushima,Keisuke Namiki,Shingo Togashi,Satoru Yamaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-05-30.

Apparatuses and methods for polishing semiconductor wafers

Номер патента: US6093085A. Автор: Peter A. Burke,Bradley J. Yellitz. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 2000-07-25.

Apparatuses and methods for polishing semiconductor wafers

Номер патента: EP1126950B1. Автор: Peter A. Burke,Bradley J. Yellitz. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 2002-11-20.

Method for the injection of CMP slurry

Номер патента: GB2470246A. Автор: Ara Philipossian,Leonard Borucki,Yasa Sampurno,Sian Theng. Владелец: Araca Inc. Дата публикации: 2010-11-17.

A wafer polishing method

Номер патента: GB2335874A. Автор: Mikio Nakamura,Takahiro Kida. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 1999-10-06.

Polishing pad with multi-modal distribution of pore diameters

Номер патента: US09555518B2. Автор: Ping Huang,William C. Allison,Diane Scott,James P. LaCasse. Владелец: Nexplanar Corp. Дата публикации: 2017-01-31.

Method of regulating a surface temperature of polishing pad, and polishing apparatus

Номер патента: SG10201902954VA. Автор: KOMATSU Mitsunori,KAMIKI Keisuke,KABASAWA Masashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-11-28.

Method of cleaning a polishing pad conditioner and apparatus for performing the same

Номер патента: US20020119613A1. Автор: Min-Gyu Kim,Min-Soo Yang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-08-29.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20190168355A1. Автор: Yuta Suzuki,Taro Takahashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-06-06.

Temperature adjusting device and polishing device

Номер патента: US20200164480A1. Автор: Yasuyuki Motoshima. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-05-28.

Adjustable force applying air platen and spindle system, and methods for using the same

Номер патента: US20020142710A1. Автор: Aleksander Owczarz,Miguel Saldana. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-10-03.

Chemical mechanical polishing method

Номер патента: US20240308021A1. Автор: Chi-Hung Liao,Wei-Chang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Self-healing polishing pad

Номер патента: US20200039022A1. Автор: Kei-Wei Chen,Yen-Ting Chen,Chun-Hao Kung,Hui-Chi Huang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-02-06.

Self-healing polishing pad

Номер патента: US20230118617A1. Автор: Kei-Wei Chen,Yen-Ting Chen,Chun-Hao Kung,Hui-Chi Huang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-04-20.

Systems and methods for mechanical and/or chemical-mechanical polishing of microfeature workpieces

Номер патента: EP1633526A2. Автор: Jason B. Elledge. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2006-03-15.

Polishing pad with multi-modal distribution of pore diameters

Номер патента: WO2012051197A1. Автор: Ping Huang,William C. Allison,Diane Scott,James P. LaCasse. Владелец: NexPlanar Corporation. Дата публикации: 2012-04-19.

Polishing pad with multi-modal distribution of pore diameters

Номер патента: MY167541A. Автор: Ping Huang,Diane Scott,William C Allison,James P Lacasse. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2018-09-05.

Wafer polishing pad and method of wafer polishing using the same

Номер патента: US20190193238A1. Автор: SANGHOON Lee,SungHyup KIM,Seok Ryul Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-06-27.

Double-side polishing method

Номер патента: US9987721B2. Автор: Masanao Sasaki,Kazuaki Aoki,Taketoshi Sato,Taichi Yasuda,Daisuke Furukawa,Kazumasa Asai,Takehiro Yuasa. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-05.

Double-side polishing method

Номер патента: US20150217425A1. Автор: Masanao Sasaki,Kazuaki Aoki,Taketoshi Sato,Taichi Yasuda,Daisuke Furukawa,Kazumasa Asai,Takehiro Yuasa. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2015-08-06.

Laminate polishing pad

Номер патента: SG184115A1. Автор: Atsushi Kazuno. Владелец: Toyo Tire & Rubber Co. Дата публикации: 2012-10-30.

Polishing pad and method for producing polished product

Номер патента: US20240149389A1. Автор: Hiroshi Kurihara,Teppei Tateno,Ryuma Matsuoka,Satsuki YAMAGUCHI,Yamato TAKAMIZAWA. Владелец: Fujibo Holdins Inc. Дата публикации: 2024-05-09.

Polishing pad having a groove arrangement for reducing slurry consumption

Номер патента: US7125318B2. Автор: Gregory P. Muldowney. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2006-10-24.

Polishing pad having a groove arrangement for reducing slurry consumption

Номер патента: EP1533076A1. Автор: Gregory P. Muldowney. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2005-05-25.

Method for cmp temperature control

Номер патента: US20240109163A1. Автор: Hui Chen,Jianshe Tang,Shou-sung Chang,Brian J. Brown,Chih Chung Chou,Hari Soundararajan,Haosheng Wu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-04.

Devices and methods for optical endpoint detection during semiconductor wafer polishing

Номер патента: US7235154B2. Автор: Alice Madrone Dalrymple,Robert J. Horrell. Владелец: Strasbaugh Inc. Дата публикации: 2007-06-26.

Chemical mechanical polishing method

Номер патента: US12017322B2. Автор: Chi-Hung Liao,Wei-Chang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20180147687A1. Автор: Akihiko Ogawa,Taro Takahashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-05-31.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20150255357A1. Автор: Yoichi Kobayashi,Keita Yagi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2015-09-10.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: SG10201808877SA. Автор: Takahashi Taro,Kobayashi Yoichi,SUGIYAMA Mitsunori. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-05-30.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US11911867B2. Автор: Toshifumi Kimba,Masaki Kinoshita,Yoichi Shiokawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-02-27.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US9390986B2. Автор: Yoichi Kobayashi,Keita Yagi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2016-07-12.

Substrate polishing device and polishing method

Номер патента: US20190134776A1. Автор: Kenji Kodera,Masayuki Nakanishi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-05-09.

Production method for semiconductor wafer

Номер патента: EP1632993A1. Автор: K. c/o Sumco Corporation Asakawa. Владелец: Sumco Corp. Дата публикации: 2006-03-08.

Metal film polishing pad and method for polishing metal film using the same

Номер патента: US20100035521A1. Автор: Mitsuru Kato,Chihiro Okamoto,Shinya Kato,Hirofumi Kikuchi. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2010-02-11.

Polishing pad and preparation method thereof

Номер патента: US20240308022A1. Автор: JANGWON SEO,Jong Wook YUN,Min Gyeong JI. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Polishing pad and preparation method thereof

Номер патента: EP4431237A1. Автор: JANGWON SEO,Jong Wook YUN,Min Gyeong JI. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-18.

Method for raising polishing pad and polishing method

Номер патента: US20170341204A1. Автор: Takuya Sasaki,Yuki Tanaka. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-30.

Polishing pad and manufacturing method therefor

Номер патента: EP2698809A1. Автор: Fumio Miyazawa,Kouki ITOYAMA. Владелец: Fujibo Holdins Inc. Дата публикации: 2014-02-19.

Pad-temperature regulating apparatus, method of regulating pad-temperature, polishing apparatus, and polishing system

Номер патента: US11919124B2. Автор: Toru Maruyama. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-03-05.

Porous polishing pad and process for producing the same all fees

Номер патента: US11772236B2. Автор: Sunghoon YUN,Hye Young HEO,Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Jaein AHN. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-03.

Polishing pad

Номер патента: US09539693B2. Автор: Hiroshi Seyanagi. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Polishing method, method for producing semiconductor substrate, and polishing composition set

Номер патента: EP4317337A1. Автор: Kohsuke Tsuchiya,Taiki ICHITSUBO. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2024-02-07.

Polishing apparatus for a substrate and polishing method for a substrate using the same

Номер патента: US20230415303A1. Автор: Boun Yoon,Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-12-28.

Polishing method and apparatus

Номер патента: US09610673B2. Автор: Tsuneo Torikoshi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-04-04.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20230008720A1. Автор: Masayoshi Ito,Itsuki Kobata. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-01-12.

Polishing pad and method of monitoring a polishing process using the same

Номер патента: US20240227113A1. Автор: JANGWON SEO,Kyung Hwan Kim,Joonho AN,Chang Gyu Im,Yujin Shin. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US09399277B2. Автор: Hiroshi Yoshida,Hozumi Yasuda,Makoto Fukushima. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2016-07-26.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20220347814A1. Автор: Kenichi Suzuki,Hisanori Matsuo,Yasuyuki Motoshima,Ban ITO,Shuji Uozumi,Shumpei Miura,Seungho Yun. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2022-11-03.

Polishing device and polishing method

Номер патента: US09550269B2. Автор: Yoichi Kobayashi,Keita Yagi,Yoichi Shiokawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

Polish apparatus, polish method, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09502318B2. Автор: Dai Fukushima,Takashi Watanabe,Jun Takayasu. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2016-11-22.

Pad-temperature regulating apparatus, pad-temperature regulating method, and polishing apparatus

Номер патента: US11826871B2. Автор: Toru Maruyama,Shuji Uozumi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-11-28.

Wafer edge asymmetry correction using groove in polishing pad

Номер патента: US11951589B2. Автор: Wei Lu,Jianshe Tang,Jimin Zhang,Brian J. Brown,Priscilla Diep. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-09.

Wafer edge asymmetry correction using groove in polishing pad

Номер патента: US20240075583A1. Автор: Wei Lu,Jianshe Tang,Jimin Zhang,Brian J. Brown,Priscilla Diep. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-07.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20230201991A1. Автор: Takashi Kishi,Masaki Kinoshita,Toshiki Miyakawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-06-29.

Polishing head and polishing apparatus

Номер патента: US11752590B2. Автор: Yuichi Kato,Osamu Nabeya. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-09-12.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20220203498A1. Автор: Yuta Suzuki,Taro Takahashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2022-06-30.

Polishing apparatus having surface-property measuring device of polishing pad and polishing system

Номер патента: US11958161B2. Автор: Toru Maruyama,Yasuyuki Motoshima,Keisuke Kamiki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-04-16.

Chemical mechanical polishing method

Номер патента: US11673223B2. Автор: Shih-Ho Lin,Jen-Chieh LAI,Jheng-Si SU,Yu-chen Wei,Chun-Chieh Chan. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-06-13.

Polishing pad

Номер патента: US20240042573A1. Автор: Takeshi Sato,Norihisa Arifuku. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2024-02-08.

Apparatus of cleaning a polishing pad and polishing device

Номер патента: US11780050B2. Автор: Ji Hwan CHO. Владелец: SK Siltron Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-10.

Dressing apparatus and polishing apparatus

Номер патента: US11980997B2. Автор: Eiichi Yamamoto,Takahiko Mitsui. Владелец: Okamoto Machine Tool Works Ltd. Дата публикации: 2024-05-14.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US20230294241A1. Автор: Ban ITO. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Polishing unit, substrate processing apparatus, and polishing method

Номер патента: US11890716B2. Автор: Kenichi Kobayashi,Asagi Matsugu,Akihiro Yazawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-02-06.

Polishing unit, substrate processing apparatus, and polishing method

Номер патента: EP3842182A1. Автор: Kenichi Kobayashi,Asagi Matsugu,Akihiro Yazawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2021-06-30.

Polishing unit, substrate processing apparatus, and polishing method

Номер патента: US20210187692A1. Автор: Kenichi Kobayashi,Asagi Matsugu,Akihiro Yazawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2021-06-24.

Polishing pads and systems for and methods of using same

Номер патента: US20230211455A1. Автор: Eric C. Coad,Joseph D. Rule,Duy K. LEHUU. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2023-07-06.

Polishing pad, semiconductor fabricating device and fabricating method of semiconductor device

Номер патента: US11883926B2. Автор: Yukiteru Matsui,Akifumi Gawase,Takahiko Kawasaki. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-01-30.

Chemical mechanical polishing pads with a disulfide bridge

Номер патента: US20240100648A1. Автор: Jaeseok Lee,Jessica Lindsay,Satish Rai,Sangcheol Kim. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-03-28.

Chemical mechanical polishing pads with a disulfide bridge

Номер патента: WO2024064259A1. Автор: Jaeseok Lee,Satish Rai,Sangcheol Kim,Jessica TABERT. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2024-03-28.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20240017370A1. Автор: Akihiro Yazawa,Yasuyuki MIYASAWA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-01-18.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: EP4238698A1. Автор: Akihiro Yazawa,Yasuyuki MIYASAWA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-09-06.

Chemical mechanical polishing method suitable for highly accurate planarization

Номер патента: US6132292A. Автор: Akira Kubo. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2000-10-17.

Method for the local polishing of a semiconductor wafer

Номер патента: US09533394B2. Автор: Juergen Schwandner. Владелец: SILTRONIC AG. Дата публикации: 2017-01-03.

Polishing platens and polishing platen manufacturing methods

Номер патента: US12076877B2. Автор: Steven M. Zuniga,Jay Gurusamy,Bum Jick KIM,Danielle LOI. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

Methods and systems for polishing pad control

Номер патента: US10946493B2. Автор: Ezio Bovio,Emanuele Corsi. Владелец: GlobalWafers Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-16.

Methods and systems for polishing pad control

Номер патента: US10960513B2. Автор: Ezio Bovio,Emanuele Corsi. Владелец: GlobalWafers Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-30.

Methods and systems for polishing pad control

Номер патента: US20180304437A1. Автор: Ezio Bovio,Emanuele Corsi. Владелец: GlobalWafers Co Ltd. Дата публикации: 2018-10-25.

Methods and systems for polishing pad control

Номер патента: US20180304436A1. Автор: Ezio Bovio,Emanuele Corsi. Владелец: GlobalWafers Co Ltd. Дата публикации: 2018-10-25.

Polishing pad inspection method and polishing pad inspection apparatus

Номер патента: JP3878460B2. Автор: 忠森 全,桂源 金,裕信 梁,考厚 金. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2007-02-07.

Fabrication process of semiconductor device and polishing method

Номер патента: US20060219662A1. Автор: Tetsuya Shirasu. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2006-10-05.

Cleaning process of wafer polishing pad and cleaning nozzle

Номер патента: US20230126122A1. Автор: Ching-Wen Teng,Wen Yi Tan,Shih-Jie Lin,Kuo Liang Huang. Владелец: United Semiconductor Xiamen Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-27.

Polishing pad with foundation layer and window attached thereto

Номер патента: US09868185B2. Автор: William C. Allison,Diane Scott,Jose Arno,Paul Andre Lefevre. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2018-01-16.

Polishing pad with improved wettability and method for preparing same

Номер патента: US20230330806A1. Автор: JANGWON SEO,Sunghoon YUN,Jong Wook YUN,Chang Gyu Im. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-19.

Polishing pad with foundation layer and window attached thereto

Номер патента: MY191753A. Автор: Diane Scott,Jose Arno,William C Allison,Paul Andre Lefevre. Владелец: Cmc Mat Inc. Дата публикации: 2022-07-14.

Polishing method

Номер патента: US20200152471A1. Автор: Kazuaki Aoki. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2020-05-14.

Polishing pad with improved crosslinking density and process for preparing the same

Номер патента: US12076832B2. Автор: Hye Young HEO,Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Eun Sun JOENG. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-03.

Polishing pad and preparing method of semiconductor device using the same

Номер патента: US20230111352A1. Автор: Jang Won Seo,Eun Sun JOENG,Jae In Ahn,Sung Hoon Yun. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-13.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US11759913B2. Автор: Keita Yagi,Yoichi Shiokawa,Toshimitsu Sasaki,Yuki Watanabe,Nachiketa Chauhan. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-09-19.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US20210170544A1. Автор: Keita Yagi,Yoichi Shiokawa,Toshimitsu Sasaki,Yuki Watanabe,Nachiketa Chauhan. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2021-06-10.

Heterogeneous fluoropolymer mixture polishing pad

Номер патента: US11897082B2. Автор: Joseph So,Matthew R. Gadinski. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2024-02-13.

Determination of substrate layer thickness with polishing pad wear compensation

Номер патента: US12090599B2. Автор: Kun Xu,Jun Qian,Benjamin Cherian,Kiran Lall Shrestha. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-17.

Polyurethane for polishing layers, polishing layer and polishing pad

Номер патента: EP3892418A1. Автор: Mitsuru Kato,Chihiro Okamoto,Shinya Kato. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-13.

Polishing pad with adjusted crosslinking degree and process for preparing the same

Номер патента: US20210129284A1. Автор: Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Eun Sun JOENG. Владелец: SKC Solmics Co Ltd. Дата публикации: 2021-05-06.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US20230381919A1. Автор: Keita Yagi,Yoichi Shiokawa,Toshimitsu Sasaki,Yuki Watanabe,Nachiketa Chauhan. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-11-30.

Determination of substrate layer thickness with polishing pad wear compensation

Номер патента: US20230381912A1. Автор: Kun Xu,Jun Qian,Benjamin Cherian,Kiran Lall Shrestha. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-30.

Determination of substrate layer thickness with polishing pad wear compensation

Номер патента: US11780047B2. Автор: Kun Xu,Jun Qian,Benjamin Cherian,Kiran Lall Shrestha. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-10.

Optical film-thickness measuring apparatus and polishing apparatus

Номер патента: US11951588B2. Автор: Toshifumi Kimba,Masaki Kinoshita,Yoichi Shiokawa,Yoshikazu Kato. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-04-09.

Method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20190027358A1. Автор: Kuan-Yu Wang,Yan-Da Chen,Chang-Sheng Hsu,Yuan Sheng Lin,Weng Yi Chen. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2019-01-24.

Method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US10475640B2. Автор: Kuan-Yu Wang,Yan-Da Chen,Chang-Sheng Hsu,Yuan Sheng Lin,Weng Yi Chen. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2019-11-12.

Ceramic polishing pad dresser and method for fabricating the same

Номер патента: US20070049185A1. Автор: Wei Huang,Yu-Tai Chen,Chou-Chih Tseng,Hsiu-Yi Lin. Владелец: Kinik Co. Дата публикации: 2007-03-01.

Polishing pad and wafer notch polishing method

Номер патента: US20240293911A1. Автор: Takashi Ueno,Takatoshi Hattori,Takamasa Goto,Masatoshi Kishimoto,Sari SHOJI. Владелец: Bbs Kinmei Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Polishing apparatus, polishing pad positioning method, and polishing pad

Номер патента: US09919403B2. Автор: Takeshi Sakurai,Suguru Ogura,Kaoru Hamaura. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-03-20.

Polishing pad, polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US6159088A. Автор: Hideharu Nakajima. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2000-12-12.

Polishing pad, pyrolysis oil obtained therefrom, and process for preparing the same

Номер патента: US20240263080A1. Автор: JANGWON SEO,Chang Gyu Im. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Polishing pad, pyrolysis oil obtained therefrom, and process for preparing the same

Номер патента: EP4410857A1. Автор: JANGWON SEO,Chang Gyu Im. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-07.

Composition and method for polishing memory hard disks exhibiting reduced edge roll-off

Номер патента: MY177709A. Автор: WHITE Michael,Li Tong,Lau Hon-Wu. Владелец: Cmc Mat Inc. Дата публикации: 2020-09-23.

Porous polyurethane polishing pad and process for producing the same

Номер патента: US11766759B2. Автор: Sunghoon YUN,Hye Young HEO,Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Jaein AHN. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-26.

Polishing pad and method for making the same

Номер патента: US09884400B2. Автор: Chung-Chih Feng,I-Peng Yao,Wen-Chieh Wu,Hsin-Ru Song. Владелец: San Fang Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-06.

Polishing pad with alignment feature

Номер патента: US20150152236A1. Автор: William C. Allison,Diane Scott,Robert Kerprich. Владелец: Individual. Дата публикации: 2015-06-04.

Method for producing chemical mechanical polishing pad

Номер патента: US20090104856A1. Автор: Yukio Hosaka,Rikimaru Kuwabara. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2009-04-23.

Method for production of a laminate polishing pad

Номер патента: US9126303B2. Автор: Junji Hirose,Masato Doura. Владелец: Toyo Tire and Rubber Co Ltd. Дата публикации: 2015-09-08.

Stone polishing pad making device and polishing pad making method

Номер патента: KR101808123B1. Автор: 민경열. Владелец: 케스트다이아몬드 주식회사. Дата публикации: 2018-01-18.

Ultrasonic welding method for the manufacture of a polishing pad comprising an optically transmissive region

Номер патента: TWI286957B. Автор: Kelly J Newell. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2007-09-21.

Method for creating flip-chip conductive-polymer bumps using photolithography and polishing

Номер патента: US7109107B2. Автор: Dennis W. Prather,Saurabh Lohokare. Владелец: University of Delaware. Дата публикации: 2006-09-19.

Method for controlling polysilicon removal

Номер патента: WO2007041203A1. Автор: Jeffrey Dysard,Timothy Johns,Paul Feeney. Владелец: Cabot Microelectronics Corporation. Дата публикации: 2007-04-12.

Semiconductor stack and method for manufacturing the same

Номер патента: US20210305186A1. Автор: Kwangjin Moon,Hyungjun Jeon,Hakseung LEE,Hyoukyung Cho. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2021-09-30.

Polishing pad for wafer polishing device, and apparatus and method for manufacturing same

Номер патента: US20230040654A1. Автор: Jin Woo Ahn,Soo Cheon JANG. Владелец: SK Siltron Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-09.

Method for manufacturing a polishing sheet and a polishing pad

Номер патента: US20240066661A1. Автор: JANGWON SEO,Kyung Hwan Kim,Jong Wook YUN,Joonho AN,Chang Gyu Im. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-29.

Polishing pad with endpoint window

Номер патента: US20240253175A1. Автор: Yu-Chung Su. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2024-08-01.

Resin composition, polishing pad, and method for producing polishing pad

Номер патента: US11873399B2. Автор: Nobuyuki Takahashi,Ryujin Ishiuchi. Владелец: Resonac Corp. Дата публикации: 2024-01-16.

Resin composition, polishing pad, and method for producing polishing pad

Номер патента: US20210054192A1. Автор: Nobuyuki Takahashi,Ryujin Ishiuchi. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2021-02-25.

Split-window CMP polishing pad and preparation method thereof

Номер патента: US20190210184A1. Автор: Siqi Song. Владелец: Chengdu Times Live Science And Technology Co ltd. Дата публикации: 2019-07-11.

Polishing pad, manufacturing method of polishing pad and polishing method

Номер патента: US20190321936A1. Автор: Yu-Piao Wang,I-Ping Chen. Владелец: Iv Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2019-10-24.

Polishing pad for wafer polishing apparatus and manufacturing method therefor

Номер патента: EP3708299A1. Автор: Jin Woo Ahn. Владелец: SK Siltron Co Ltd. Дата публикации: 2020-09-16.

Method of manufacturing a polishing pad using a beam

Номер патента: US20020144985A1. Автор: Frank Miceli,Annette Crevasse,William Easter. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-10-10.

Polishing pad with grooved foundation layer and polishing surface layer

Номер патента: US9067298B2. Автор: William C. Allison,Diane Scott,Paul Andre Lefevre,James P. LaCasse. Владелец: Nexplanar Corp. Дата публикации: 2015-06-30.

Polishing pad

Номер патента: WO2003054097A1. Автор: Alan E. Wang,Robert G. Swisher,William C. Allison. Владелец: PPG Industries Ohio, Inc.. Дата публикации: 2003-07-03.

Polishing pad

Номер патента: EP1458830A1. Автор: Alan E. Wang,Robert G. Swisher,William C. Allison. Владелец: PPG Industries Ohio Inc. Дата публикации: 2004-09-22.

Two step curing of polishing pad material in additive manufacturing

Номер патента: US20180079147A1. Автор: Sivapackia Ganapathiappan,Hou T. Ng,Nag B. Patibandla. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-22.

Polishing pad design

Номер патента: US6887131B2. Автор: Paul Fischer,Sadasivan Shankar,Lei Jiang. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2005-05-03.

Tiltable platform for additive manufacturing of a polishing pad

Номер патента: US20180079152A1. Автор: Sivapackia Ganapathiappan,Hou T. Ng,Nag B. Patibandla. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-22.

Method of making low specific gravity polishing pads

Номер патента: US20230390970A1. Автор: Nan-Rong Chiou. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2023-12-07.

Dual-cure resin for preparing chemical mechanical polishing pads

Номер патента: WO2023244739A1. Автор: Chen-Chih Tsai. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Dual-cure resin for preparing chemical mechanical polishing pads

Номер патента: US20230405765A1. Автор: Chen-Chih Tsai. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Non-planar glass polishing pad and method of manufacture

Номер патента: US09440326B2. Автор: James Anderson,Scott B. Daskiewich,Brent MUNCY,George James Wasilczyk. Владелец: JH RHODES CO Inc. Дата публикации: 2016-09-13.

Method of manufacturing a polymer or polymer/composite polishing pad

Номер патента: US20020069591A1. Автор: Paul Yancey. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2002-06-13.

Polishing pad and method for making the same

Номер патента: US09669518B2. Автор: Chung-Chih Feng,I-Peng Yao,Yung-Chang Hung,Wen-Chieh Wu. Владелец: San Fang Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-06.

Printing of polishing pads

Номер патента: US20010041511A1. Автор: David James,Craig Lack,Chau Duong. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2001-11-15.

Polishing pad having a pressure relief channel

Номер патента: US20050281983A1. Автор: Robert Gamble,T. Crkvenac,Jason Lawhorn. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2005-12-22.

Polishing pad, polishing apparatus and polishing method using the same

Номер патента: US20020098778A1. Автор: Masayuki Takashima,Kazumasa Ueda. Владелец: Sumitomo Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2002-07-25.

Polishing pad fixing mechanism and polishing machine

Номер патента: CN112828748B. Автор: 赵欣,李劲劲,曹文会. Владелец: National Institute of Metrology. Дата публикации: 2022-03-08.

A polishing pad and method of producing the same

Номер патента: EP1792330A1. Автор: Alex Cooper,Yevgeny Bederak. Владелец: Universal Photonics Inc. Дата публикации: 2007-06-06.

Polishing pad window

Номер патента: US09475168B2. Автор: Ethan Scott Simon,Bainian Qian,George C. Jacob. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Methods of cleaning cmp polishing pads

Номер патента: US20180169830A1. Автор: Charles J. Benedict,Aaron E. Lorin,Ryan Bortner. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2018-06-21.

Polishing pad with porous interface and solid core, and related apparatus and methods

Номер патента: US09463551B2. Автор: Robert Vacassy,George Fotou. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2016-10-11.

Retainer ring, polish apparatus, and polish method

Номер патента: US20150183082A1. Автор: Dai Fukushima,Takashi Watanabe,Jun Takayasu. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2015-07-02.

Retainer ring, polish apparatus, and polish method

Номер патента: US09539696B2. Автор: Dai Fukushima,Takashi Watanabe,Jun Takayasu. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2017-01-10.

Method for polishing thin plate and a holding plate

Номер патента: MY125181A. Автор: NAKAMURA Mikio,KIDA Takahiro. Владелец: Shinetsu Handotai Kk. Дата публикации: 2006-07-31.

POLISHING APPARATUS, POLISHING PAD POSITIONING METHOD, AND POLISHING PAD

Номер патента: US20150004886A1. Автор: Sakurai Takeshi,HAMAURA Kaoru,OGURA Suguru. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-01.

Polishing pad, polishing device, and polishing method

Номер патента: JPH11277407A. Автор: Hideharu Nakajima,英晴 中嶋. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1999-10-12.

Polishing pad, polishing apparatus and polishing method

Номер патента: JP3329644B2. Автор: 佳邦 竪山,泰孝 佐々木,伸夫 早坂,岳 西岡,尚史 金子,錬平 中田,裕 中野. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2002-09-30.

CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING PAD AND CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING METHOD

Номер патента: US20130189907A1. Автор: HOSAKA Yukio,OKAMOTO Takahiro,Kubo Kotaro. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2013-07-25.

POLISHING PAD, POLISHING SYSTEM AND POLISHING METHOD

Номер патента: US20170036319A1. Автор: Chen Ko-Wen,Yu Shih-Ming. Владелец: IV Technologies CO., Ltd.. Дата публикации: 2017-02-09.

Polishing pad and chemico-mechanical polishing method

Номер патента: CN101190507A. Автор: 蒋莉,臧伟,季华,小池正博. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2008-06-04.

Polishing pad and chemical mechanical polishing method

Номер патента: TWI513871B. Автор: Mitsuru Kato,Chihiro Okamoto,Kimio Nakayama,Nobuo Takaoka. Владелец: Kuraray Co. Дата публикации: 2015-12-21.

Polishing-pad evaluation method and wafer polishing method

Номер патента: CN105531799A. Автор: 小林修一,田中佑宜,佐藤一弥. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-27.

Polishing pad dressing device and polishing equipment

Номер патента: CN113458972A. Автор: 李伟,刘福强,杨宽,史霄,舒福璋. Владелец: Beijing Semicore Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-01.

POLISHING METHOD FOR MACHINING AN OPTICAL SURFACE OF AN OPTICAL LENS AND POLISHING TOOLS SUITABLE THEREFOR

Номер патента: US20150050864A1. Автор: MANDLER Roland,STAHRINGER Sebastian. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-19.

Semiconductor device and method for manufacturing the same

Номер патента: US12068267B2. Автор: Yoshihiro Uozumi. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-08-20.

Anti-fuse structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US09520357B1. Автор: Hong He,Chih-Chao Yang,Juntao Li,Junli Wang. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2016-12-13.

Memory device, semiconductor device and method for manufacturing the same

Номер патента: US20210183820A1. Автор: Chih-Wei Chang. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2021-06-17.

Method for polishing spectacle lens, and method for manufacturing spectacle lens

Номер патента: EP4397436A1. Автор: Masahiko Samukawa,Kazuteru OKUURA. Владелец: Hoya Lens Thailand Ltd. Дата публикации: 2024-07-10.

Ultra high void volume polishing pad with closed pore structure

Номер патента: WO2015027026A1. Автор: Robert Vacassy,George Fotou,Achla Khanna. Владелец: Cabot Microelectronics Corporation. Дата публикации: 2015-02-26.

Composite polishing pad and method for making the same

Номер патента: US09682457B2. Автор: Chung-Chih Feng,I-Peng Yao,Yung-Chang Hung,Wen-Chieh Wu. Владелец: San Fang Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-20.

Polishing pad with endpoint detection window

Номер патента: US20240253177A1. Автор: Lee Melbourne Cook,Hyunjin Kim,Yu-Chung Su. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2024-08-01.

Polishing pad and wafer polishing method

Номер патента: US20240293915A1. Автор: Takatoshi Hattori,Takamasa Goto,Masatoshi Kishimoto,Sari SHOJI. Владелец: Bbs Kinmei Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Single surface polishing device, single surface polishing method, and polishing pad

Номер патента: EP4180178A1. Автор: Junichi Ueno,Kaoru Ishii. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-17.

Single-side polishing apparatus, single-side polishing method, and polishing pad

Номер патента: US20230330804A1. Автор: Junichi Ueno,Kaoru Ishii. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-19.

Polishing pad, and polishing method using same

Номер патента: EP3858546A1. Автор: Shota HISHIDA,Toru Kamada,Kyosuke Tenko,Daisuke Yasui,Hideharu HASE. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2021-08-04.

Polishing pad and polishing method

Номер патента: US20190099860A1. Автор: Yu-Piao Wang. Владелец: Iv Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2019-04-04.

Using sacrificial material in additive manufacturing of polishing pads

Номер патента: US20210114172A1. Автор: Daniel REDFIELD,Jason Garcheung Fung,Mayu Felicia Yamamura. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-04-22.

Using sacrificial material in additive manufacturing of polishing pads

Номер патента: US20230256567A1. Автор: Daniel REDFIELD,Jason Garcheung Fung,Mayu Felicia Yamamura. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-08-17.

Polishing pad with endpoint window

Номер патента: US20240253176A1. Автор: Hyunjin Kim,Yu-Chung Su. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2024-08-01.

Method for producing laminated polishing pad

Номер патента: US09457452B2. Автор: Yoshiyuki Nakai. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2016-10-04.

Low pressure polishing method and apparatus

Номер патента: US09796067B2. Автор: Simon Palushaj. Владелец: DIAMABRUSH LLC. Дата публикации: 2017-10-24.

Low pressure polishing method and apparatus

Номер патента: US09776305B2. Автор: Simon Palushaj. Владелец: DIAMABRUSH LLC. Дата публикации: 2017-10-03.

Low pressure polishing method and apparatus

Номер патента: US09492909B2. Автор: Simon Palushaj. Владелец: DIAMABRUSH LLC. Дата публикации: 2016-11-15.

Polishing pad, method for preparing the same, and chemical and mechanical polishing equipment

Номер патента: US11839945B2. Автор: Sungwoo Cho,Yuxuan Guo. Владелец: Xian Eswin Material Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-12.

Polishing pad and polishing method

Номер патента: US09956669B2. Автор: Toshiro Doi,Masataka Takagi,Kiyoshi Seshimo,Hiroshi Kashiwada. Владелец: Fujibo Holdins Inc. Дата публикации: 2018-05-01.

Polishing pad, methods of manufacturing and use

Номер патента: US6090475A. Автор: Karl M. Robinson,Michael A. Walker,John K. Skrovan. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2000-07-18.

Method of adhering polishing pads and jig for adhering the same

Номер патента: MY137884A. Автор: Yoshio Nakamura. Владелец: Fujikoshi Machinery Corp. Дата публикации: 2009-03-31.

Hand-held power tool, axial holding arrangement and polishing pad for such a power tool

Номер патента: EP4450222A1. Автор: Andrea Valentini. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-10-23.

Hand-held power tool, axial holding arrangement and polishing pad for such a power tool

Номер патента: US20240351160A1. Автор: Andrea Valentini. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-10-24.

Homogeneous polishing pad for eddy current end-point detection

Номер патента: US09597777B2. Автор: Ping Huang,Alexander William Simpson,William C. Allison,Diane Scott,Richard Frentzel. Владелец: Nexplanar Corp. Дата публикации: 2017-03-21.

Polishing pads for chemical mechanical planarization

Номер патента: US20030027500A1. Автор: David James,Peter Burke,Arun Vishwanathan,David Shidner,Lee Cook. Владелец: David Shidner. Дата публикации: 2003-02-06.

Polishing pad cluster for polishing a semiconductor wafer

Номер патента: US5575707A. Автор: Homayoun Talieh,David E. Weldon. Владелец: Ontrak Systems Inc. Дата публикации: 1996-11-19.

Polishing table and polishing apparatus having the same

Номер патента: US20180345447A1. Автор: Kenichiro Saito,Ryuichi Kosuge. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-12-06.

Polishing pad having micro-grooves on the pad surface

Номер патента: WO2008011535A3. Автор: David Adam Wells,Marc C Jin,Oscar K Hsu,John Erik Aldeborgh. Владелец: John Erik Aldeborgh. Дата публикации: 2008-10-02.

Polishing pad installation tool

Номер патента: US20020081958A1. Автор: Bernard Foster. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2002-06-27.

Polishing pad having a tricot mesh faberic as a base

Номер патента: US20110195646A1. Автор: Myung Mook Kim. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-08-11.

Lifetime self-indicated polishing pad

Номер патента: GB2345657B. Автор: Hsueh-Chung Chen. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2001-08-15.

Material for use in carrier and polishing pads

Номер патента: US6607428B2. Автор: Robert D. Tolles. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-08-19.

Polishing pad for wafer polishing apparatus

Номер патента: US20200078901A1. Автор: Seung Won Lee. Владелец: SK Siltron Co Ltd. Дата публикации: 2020-03-12.

Polishing pad and polishing method

Номер патента: US11872671B2. Автор: Yu-Piao Wang. Владелец: Iv Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-16.

Polishing pad and polishing method

Номер патента: US11524389B2. Автор: Yu-Piao Wang. Владелец: Iv Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-13.

Polishing pads and methods relating thereto

Номер патента: US6354915B1. Автор: Lee Melbourne Cook,David B. James,Arthur Richard Baker. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2002-03-12.

Polishing pads and methods relating thereto

Номер патента: US6843712B2. Автор: Lee Melbourne Cook,David B. James,John H. V. Roberts. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2005-01-18.

Multi-layer polishing pad for low-pressure polishing

Номер патента: WO2006081286A2. Автор: Wei Lu,Yan Wang,Yongsik Moon,Alain Duboust,Siew Neo,Antoine Manens,Shou-sung Chang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2006-08-03.

Homogeneous polishing pad for eddy current end-point detection

Номер патента: US20120083192A1. Автор: Ping Huang,Alexander William Simpson,William C. Allison,Diane Scott,Richard Frentzel. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-04-05.

Polishing pad conditioning apparatus

Номер патента: US20210060727A1. Автор: Shih-Chung Chen,Hung-Lin Chen,Cheng-Ping Chen,Sheng-Tai Peng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Polishing pad conditioning apparatus

Номер патента: US20230234184A1. Автор: Shih-Chung Chen,Hung-Lin Chen,Cheng-Ping Chen,Sheng-Tai Peng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-07-27.

Light-emitting diode module and method for manufacture thereof

Номер патента: RU2510102C1. Автор: Вон Санг ЛИ,Йоунг Кеун КИМ. Владелец: Даевон Инност Ко., Лтд. Дата публикации: 2014-03-20.

Polishing pad for endpoint detection and related methods

Номер патента: US9333621B2. Автор: Manoocher Birang,Boguslaw A. Swedek. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-05-10.

Polishing pad

Номер патента: EP1224060B1. Автор: Stanley E. Eppert, Jr.,Alan H. Saikin,Peter W. Freeman,Marco A. Acevedo. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2004-06-23.

Uv-curable resins for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: US20230406984A1. Автор: Ping Huang. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Polishing pad, production method for same, and production method for glass substrate

Номер патента: US8979611B2. Автор: Akinori Sato,Nobuyoshi Ishizaka. Владелец: Toyo Tire and Rubber Co Ltd. Дата публикации: 2015-03-17.

Uv-curable resins for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: WO2023244740A1. Автор: Ping Huang. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-21.

Polishing pad with controlled abrasion rate

Номер патента: US5297364A. Автор: Mark E. Tuttle. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 1994-03-29.

Molded polishing pad having integral window

Номер патента: EP1210209A4. Автор: John V H Roberts,David B James,Barry Scott Pinheiro. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2004-06-30.

Molded polishing pad having integral window

Номер патента: WO2001012387A1. Автор: John V. H. Roberts,David B. James,Barry Scott Pinheiro. Владелец: Rodel Holdings, Inc.. Дата публикации: 2001-02-22.

Molded polishing pad having integral window

Номер патента: EP1210209A1. Автор: John V. H. Roberts,David B. James,Barry Scott Pinheiro. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2002-06-05.

Method of making cleaning, scouring and/or polishing pads and the improved pad produced thereby

Номер патента: CA1058812A. Автор: Heinz Kalbow. Владелец: Collo GmbH. Дата публикации: 1979-07-24.

Cmp polishing pad

Номер патента: US20240091901A1. Автор: Bainian Qian,Nan-Rong Chiou,Donna M. Alden,Matthew Cimoch,Sheng-Huan Tseng. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2024-03-21.

Conditioning wheel for polishing pads

Номер патента: US20190358771A1. Автор: Chun-Hsi Huang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2019-11-28.

Method of producing polishing pad

Номер патента: US20080047205A1. Автор: Chung-Chih Feng,I-Peng Yao,Yung-Chang Hung. Владелец: San Fang Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2008-02-28.

Method for manufacturing printed-circuit board

Номер патента: US20090321266A1. Автор: Harufumi Kobayashi,Yoshimi Egawa. Владелец: Oki Semiconductor Co Ltd. Дата публикации: 2009-12-31.

Semiconductor chip pad structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US8169086B2. Автор: Hui-Heng Wang. Владелец: Arima Optoelectronics Corp. Дата публикации: 2012-05-01.

Method for manufacturing photovoltaic module and photovoltaic module

Номер патента: US12074245B1. Автор: Jun Feng,Wusong Tao,Heng LUO. Владелец: Jinko Solar Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-27.

Semiconductor component and method for manufacturing it

Номер патента: US20010036720A1. Автор: Christian Hauser,Martin Neumayer,Johann Winderl,Martin Reiss,Achim Neu. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2001-11-01.

Chip structure, method for manufacturing chip structure, and electronic device

Номер патента: US20240290706A1. Автор: Yuan HUO. Владелец: Honor Device Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-29.

Light-emitting diode and method for manufacturing light-emitting diode

Номер патента: US09780272B2. Автор: Gege Zhou. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

Anti-fuse structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US09698098B1. Автор: Hong He,Chih-Chao Yang,Juntao Li,Junli Wang. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-07-04.

Light emitting device and method for manufacturing the same

Номер патента: US12148873B2. Автор: Cheng-Yeh Tsai,Cheng-Chieh Chang,Fang-Cheng Yu. Владелец: AUO Corp. Дата публикации: 2024-11-19.

Method for manufacture of integrated circuit package system with protected conductive layers for pads

Номер патента: US20120003830A1. Автор: Qing Zhang,Yaojian Lin,Haijing Cao. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-01-05.

Semiconductor package and method for manufacturing the same

Номер патента: US20240234354A1. Автор: Wei Yen,Ho-Ming Tong,Chao-Chun Lu. Владелец: Nd Hi Technologies Lab inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Packaging structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US20210368626A1. Автор: Chih-Chieh Fu. Владелец: Hongqisheng Precision Electronics Qin Huangdao Co ltd. Дата публикации: 2021-11-25.

Very small pixel pitch focal plane array and method for manufacturing thereof

Номер патента: US9293497B2. Автор: Pradip Mitra. Владелец: DRS Network and Imaging Systems LLC. Дата публикации: 2016-03-22.

A very small pixel pitch focal plane array and method for manufacturing thereof

Номер патента: WO2010039710A1. Автор: Pradip Mitra. Владелец: DRS Sensors & Targeting Systems, Inc.. Дата публикации: 2010-04-08.

Semiconductor device and method for manufacturing the same

Номер патента: US20230307361A1. Автор: Shinya Arai,Keisuke Nakatsuka,Hiroaki ASHIDATE,Yasunori Iwashita. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Method for Manufacturing Image Sensor

Номер патента: US20070148976A1. Автор: Seong Jeong. Владелец: Dongbu Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2007-06-28.

Very small pixel pitch focal plane array and method for manufacturing thereof

Номер патента: US20150333097A1. Автор: Pradip Mitra. Владелец: DRS RSTA Inc. Дата публикации: 2015-11-19.

Semiconductor structure and method for manufacturing the same

Номер патента: US20200194665A1. Автор: Jar-Ming Ho. Владелец: Nanya Technology Corp. Дата публикации: 2020-06-18.

Method for manufacturing a low-profile semiconductor device

Номер патента: US20030098471A1. Автор: I-Ming Chen,Ming-Tung Shen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-05-29.

Method for manufacturing semiconductor device, particle, and semiconductor device

Номер патента: US20110201193A1. Автор: Fumihiro Bekku. Владелец: Renesas Electronics Corp. Дата публикации: 2011-08-18.

Display Device and Method for Manufacturing the Same

Номер патента: US20230110638A1. Автор: Jaekun Kim,Cheolwoo Na. Владелец: LG Display Co Ltd. Дата публикации: 2023-04-13.

Method for manufacturing a low-profile semiconductor device

Номер патента: US6677180B2. Автор: I-Ming Chen,Ming-Tung Shen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-01-13.

Method for manufacturing printed wiring board

Номер патента: US09480156B2. Автор: Kotaro Takagi,Toru Furuta,Michio Ido,Fumitaka Takagi. Владелец: Ibiden Co Ltd. Дата публикации: 2016-10-25.

Method for Manufacturing Semiconductor Device

Номер патента: US20110136337A1. Автор: Shuichi Tanaka,Nobuaki Hashimoto,Yasuo Yamasaki. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2011-06-09.

Method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US8114788B2. Автор: Shuichi Tanaka,Nobuaki Hashimoto,Yasuo Yamasaki. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2012-02-14.

Bonding pad and method for manufacturing it

Номер патента: US20020149115A1. Автор: Tsung-Ju Yang,Bing-Yue Tsui,Chin Hsia,Tsung Chu. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2002-10-17.

Polishing pad with hybrid cloth and foam surface

Номер патента: US09687964B2. Автор: David Givens. Владелец: Showroom Polishing Systems LLC. Дата публикации: 2017-06-27.

Sloped polishing pad with hybrid cloth and foam surface

Номер патента: US09682461B2. Автор: David Givens. Владелец: Showroom Polishing Systems LLC. Дата публикации: 2017-06-20.

Polishing pad compound

Номер патента: US09458280B2. Автор: Bong-su Ahn,Jungsik CHOI,Jin-Su Jeong,Youngjun JANG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2016-10-04.

Polishing pad and system

Номер патента: CA2441383C. Автор: Robert Piombini. Владелец: Saint Gobain Abrasives Inc. Дата публикации: 2006-01-24.

Apparatus for cleaning and polishing a surface

Номер патента: US5947807A. Автор: Elmo R. Overseth. Владелец: Individual. Дата публикации: 1999-09-07.

Method for manufacturing polishing pad and polishing pad

Номер патента: US09862071B2. Автор: Chung-Chih Feng,I-Peng Yao,Yung-Chang Hung,Lyang-Gung Wang. Владелец: San Fang Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

Polishing pad and polishing method

Номер патента: US20240316721A1. Автор: Masamitsu Kimura,Koshiro Suzuki,Hideji HORITA. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2024-09-26.

Polishing method for semiconductor wafer and polishing pad used therein

Номер патента: GB9902373D0. Автор: . Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 1999-03-24.

Polishing pad, polishing pad tile and method of manufacturing the polishing pad

Номер патента: WO2009025533A2. Автор: Yang-Soo Park,Won-Joon Kim. Владелец: Kolon Industries, Inc. Дата публикации: 2009-02-26.

Polishing pad, polishing pad tile and method of manufacturing the polishing pad

Номер патента: WO2009025533A3. Автор: Yang-Soo Park,Won-Joon Kim. Владелец: Won-Joon Kim. Дата публикации: 2009-04-30.

Method and apparatus for conditioning polishing pad

Номер патента: US09731401B2. Автор: Nobuyuki Takahashi,Toru Maruyama. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-08-15.

Rinse apparatus and method for wafer polisher

Номер патента: US20050124267A1. Автор: Jin Liu,Sadasivan Shankar,Lei Jiang,Thomas Bramblett. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2005-06-09.

Method of monitoring a dressing process and polishing apparatus

Номер патента: US09808908B2. Автор: Hiroyuki Shinozaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-11-07.

Vacuum cleaning systems for polishing pads, and related methods

Номер патента: US09452506B2. Автор: Paul D. Butterfield,Shou-sung Chang,Bum Jick KIM. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-09-27.

Device and method for polishing a specimen

Номер патента: FI130973B1. Автор: Teemu Simola,Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: TURUN YLIOPISTO. Дата публикации: 2024-06-25.

Polishing method for semiconductor wafer and polishing pad used therein

Номер патента: MY122396A. Автор: Hisashi Masumura,Kiyoshi Suzuki,Teruaki Fukami. Владелец: Shinetsu Handotai Kk. Дата публикации: 2006-04-29.

Polishing pad cleaning with vacuum apparatus

Номер патента: US09498866B2. Автор: Christopher Heung-Gyun Lee,Tianyu YANG,Thomas Ho Fai LI. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-11-22.

Polishing pad, and polishing method

Номер патента: EP4282588A1. Автор: Koji Katayama,Shota HISHIDA,Kyosuke Tenko,Daisuke Yasui,Hideharu HASE. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2023-11-29.

Polishing pad and polishing method

Номер патента: US20240131654A1. Автор: Koji Katayama,Shota HISHIDA,Kyosuke Tenko,Daisuke Yasui,Hideharu HASE. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2024-04-25.

Polishing pad and polishing method

Номер патента: US20240227119A9. Автор: Koji Katayama,Shota HISHIDA,Kyosuke Tenko,Daisuke Yasui,Hideharu HASE. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Chemical-mechanical polishing pad conditioning system

Номер патента: US20110244764A1. Автор: Nannaji Saka,Jung-Hoon Chun,Thor Eusner. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2011-10-06.

Polishing layer of polishing pad and method of forming the same and polishing method

Номер патента: US09969049B2. Автор: Kun-Che Pai,Yu-Hao Pan. Владелец: Iv Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-15.

Pad temperature adjustment apparatus for adjusting temperature of polishing pad, and polishing apparatus

Номер патента: US20190193237A1. Автор: Yasuyuki Motoshima. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-06-27.

Polishing method, polishing agent and cleaning agent for polishing

Номер патента: US20210299814A1. Автор: Yukiteru Matsui,Yumiko Kataoka,Mikiya Sakashita. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2021-09-30.

System and method for polishing substrate

Номер патента: US09669514B2. Автор: Jiun-Yu Lai,Wei-Chen Chang,Ying-Hsiu Tsai,Yi-Ching CHIOU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-06-06.

Web-format planarizing machines and methods for planarizing microelectronic substrate assemblies

Номер патента: US20020016138A1. Автор: Michael Walker,Scott Moore. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-02-07.

Polish pad replacing apparatus

Номер патента: US20230158634A1. Автор: Chih-Chieh Su,Chun-Hsien Su,Ko-Chieh Chao. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2023-05-25.

Polishing device and polishing method

Номер патента: US09999956B2. Автор: Hozumi Yasuda,Osamu Nabeya,Makoto Fukushima,Keisuke Namiki,Shingo Togashi,Satoru Yamaki,Shintaro Isono. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-06-19.

Dressing apparatus, polishing apparatus having the dressing apparatus, and polishing method

Номер патента: US09855638B2. Автор: Satoshi Nagai,Suguru Ogura,Kaoru Hamaura. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Method for manufacturing magnetic-disk glass substrate and method for manufacturing magnetic disk

Номер патента: MY183852A. Автор: Hideo Sakai. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2021-03-17.

Polishing pad for substrate polishing apparatus and substrate polishing apparatus having polishing pad

Номер патента: US20200001424A1. Автор: Toshifumi Kimba. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-01-02.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20240208002A1. Автор: Keita Yagi,Masaki Kinoshita. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Method for CMP pad conditioning

Номер патента: US11679472B2. Автор: Sheng-Chen Wang,Chunhung Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-06-20.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US09833876B2. Автор: I-Pin CHAN. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-12-05.

Method of using polishing pad

Номер патента: US11691243B2. Автор: Sheng-Chen Wang,Jung-Yu Li,Chunhung Chen,Shih-Sian HUANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-07-04.

Method of using polishing pad

Номер патента: US12070833B2. Автор: Sheng-Chen Wang,Jung-Yu Li,Chunhung Chen,Shih-Sian HUANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-08-27.

Polishing method

Номер патента: US09573245B2. Автор: Taro Takahashi,Yasumitsu Kawabata. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-02-21.

Method of fabricating a polishing pad having an optical window

Номер патента: US20030084774A1. Автор: KYLE David. Владелец: Rodel Holdings Inc. Дата публикации: 2003-05-08.

Method of fabricating a polishing pad having an optical window

Номер патента: WO2003039812A1. Автор: Kyle W. David. Владелец: Rodel Holdings, Inc.. Дата публикации: 2003-05-15.

Composition for polishing pad and polishing pad

Номер патента: US12122013B2. Автор: Jong Wook YUN,Jang Won Seo,Eun Sun JOENG,Hyeyoung HEO. Владелец: SK Enpulse Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-22.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20200262027A1. Автор: Akira Nakamura. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-08-20.

Conductive chemical mechanical planarization polishing pad

Номер патента: US09415479B2. Автор: Hsin-Hsien Lu,Chang-Sheng Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2016-08-16.

A polishing pad with a partial adhesive coating

Номер патента: WO2000034008A9. Автор: Robert D Tolles. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-03-29.

System and method for polishing substrate

Номер патента: US20170246723A1. Автор: Jiun-Yu Lai,Wei-Chen Chang,Ying-Hsiu Tsai,Yi-Ching CHIOU. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-08-31.

Polishing pad with a partial adhesive coating

Номер патента: US20010055939A1. Автор: Robert Tolles. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-12-27.

Apparatus and method for sequentially polishing and loading/unloading semiconductor wafers

Номер патента: US20080038992A1. Автор: In Jeong. Владелец: Oriol Inc. Дата публикации: 2008-02-14.

Apparatus and method for sequentially polishing and loading/unloading semiconductor wafers

Номер патента: WO2002085571A1. Автор: In-kwon Jeong. Владелец: Oriol, Inc.. Дата публикации: 2002-10-31.

Cmp pad having isolated pockets of continuous porosity and a method for using such pad

Номер патента: US20030045106A1. Автор: Steve Kramer. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-03-06.

Apparatus and method for cmp temperature control

Номер патента: US20230415296A1. Автор: Jianshe Tang,Shou-sung Chang,Hari Soundararajan,Haosheng Wu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-12-28.

Method for producing substrate, method for producing magnetic disk, and polishing apparatus

Номер патента: WO2020198761A1. Автор: Luong NGUYEN TAI. Владелец: Hoya Glass Disk Vietnam Ltd.. Дата публикации: 2020-10-01.

CMP of a circlet wafer using disc-like brake polish pads

Номер патента: US6099387A. Автор: Mark I. Gardner,Mark C. Gilmer. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 2000-08-08.

Method for estimating life of polishing pad and polishing device

Номер патента: US20230381910A1. Автор: Kenichiro Saito,Seiji Murata,Ban ITO. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-11-30.

Method and apparatus for conditioning polishing pad

Номер патента: US20150231760A1. Автор: Nobuyuki Takahashi,Toru Maruyama. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2015-08-20.

Method and apparatus for conditioning a polishing pad

Номер патента: WO2001049453A1. Автор: Alex Finkelman. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2001-07-12.

Polyurethane polishing pad

Номер патента: US09731398B2. Автор: Benson Lee,Bainian Qian,Raymond L. Lavoie, JR.,Marty W. Degroot. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Cleaning method for optical surface monitoring device

Номер патента: US11833641B2. Автор: Toshimitsu Sasaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-12-05.

Polishing pad, manufacturing method of polishing pad and polishing method

Номер патента: US11850701B2. Автор: Yu-Piao Wang,Liang-Chi Tu. Владелец: Iv Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Container for drying and storing polishing pads

Номер патента: US20220017262A1. Автор: Jason LAMONT. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-01-20.

Conditioning of grooving in polishing pads

Номер патента: US09486893B2. Автор: Rajeev Bajaj,Fred C. Redeker,Robert T. Lum,Brian J. Brown,Hung Chen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-11-08.

Method and apparatus for conditioning a polishing pad with sonic energy

Номер патента: US20020086620A1. Автор: Michael Lacy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2002-07-04.

Apparatus for distributing a fluid through a polishing pad

Номер патента: US20030027506A1. Автор: Stephen Schultz,John Herb. Владелец: Speedfam IPEC Corp. Дата публикации: 2003-02-06.

Device and method for moistening a polishing pad

Номер патента: WO2023242481A1. Автор: Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: TURUN YLIOPISTO. Дата публикации: 2023-12-21.

Monitoring of polishing pad texture in chemical mechanical polishing

Номер патента: US20230321788A1. Автор: Thomas H. Osterheld,Benjamin Cherian. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-12.

Pad-temperature regulating apparatus, and polishing apparatus

Номер патента: US11839947B2. Автор: Toru Maruyama,Yasuyuki Motoshima,Keisuke Kamiki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-12-12.

Polishing pad dresser, polishing apparatus and polishing pad dressing method

Номер патента: US09849558B2. Автор: Dai Fukushima,Takayuki Nakayama. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2017-12-26.

Apparatus and method for CMP temperature control

Номер патента: US11919123B2. Автор: Hui Chen,Shou-sung Chang,Surajit Kumar,Hari Soundararajan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-05.

Device and method for polishing a specimen

Номер патента: US20220395955A1. Автор: Teemu Simola,Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: University of Turku . Дата публикации: 2022-12-15.

Device and method for polishing a specimen

Номер патента: WO2021099681A1. Автор: Teemu Simola,Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: TURUN YLIOPISTO. Дата публикации: 2021-05-27.

Device and method for polishing a specimen

Номер патента: CA3161142A1. Автор: Teemu Simola,Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: University of Turku . Дата публикации: 2021-05-27.

Device and method for polishing a specimen

Номер патента: AU2020385654A1. Автор: Teemu Simola,Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: University of Turku . Дата публикации: 2022-05-26.

Removable polishing pad for chemical mechanical polishing

Номер патента: US20090124176A1. Автор: Leonard J. Borucki. Владелец: Araca Inc. Дата публикации: 2009-05-14.

Controlling chemical mechanical polishing pad stiffness by adjusting wetting in the backing layer

Номер патента: WO2020176460A1. Автор: Kevin H. Song,Benedict W. Pang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-09-03.

Chemical mechanical polishing pad with window

Номер патента: US09446498B1. Автор: Joseph So,Bainian Qian,Janet Tesfai. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2016-09-20.

Apparatus and method for cmp temperature control

Номер патента: US20210402555A1. Автор: Hui Chen,Shou-sung Chang,Surajit Kumar,Hari Soundararajan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-12-30.

Chemical mechanical polishing device and polishing method

Номер патента: US20240131655A1. Автор: Kai-Yao Shih,Ming-Hsiang Chen,Shih-Ci Yen. Владелец: Powerchip Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2024-04-25.

Apparatus and method for cmp temperature control

Номер патента: US20240157504A1. Автор: Hui Chen,Shou-sung Chang,Surajit Kumar,Hari Soundararajan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-16.

Chemical mechanical polishing pad with controlled polish rate

Номер патента: US6054017A. Автор: Bih-Tiao Lin,Fu-Liang Yang. Владелец: Vanguard International Semiconductor Corp. Дата публикации: 2000-04-25.

Method and apparatus for conditioning a polish pad and for dispensing slurry

Номер патента: WO2001091974A1. Автор: Albert H. Liu,Nelson W. Ii White. Владелец: Philips Semiconductors, Inc.. Дата публикации: 2001-12-06.

An optimized grooving structure for a cmp polishing pad

Номер патента: WO2006026271A1. Автор: Peter Renteln. Владелец: J. H. Rhodes, Inc.. Дата публикации: 2006-03-09.

Polishing method and polishing apparatus

Номер патента: US12076830B2. Автор: Masashi KABASAWA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-09-03.

Polishing pad

Номер патента: EP1536920B1. Автор: Markus c/o P & M NAUJOK. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2006-07-12.

Customized polish pads for chemical mechanical planarization

Номер патента: US20100273398A1. Автор: Pradip K. Roy,Sudhanshu Misra. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-10-28.

Polishing method

Номер патента: US09539699B2. Автор: Hiroyuki Shinozaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-01-10.

Device for cleaning fixed abrasives polishing pad

Номер патента: US09475170B2. Автор: FENG CHEN. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Customized polishing pads for cmp and methods of fabrication and use thereof

Номер патента: IL185099A. Автор: . Владелец: Nexplanar Corp. Дата публикации: 2013-11-28.

Polishing pad for chemical-mechanical polishing of a semiconductor substrate

Номер патента: US5628862A. Автор: Chris C. Yu,Tat-Kwan Yu. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 1997-05-13.

Device for conditioning polishing pads

Номер патента: US5486131A. Автор: Joseph V. Cesna,Anthony G. Van Woerkom. Владелец: Speedfam Corp. Дата публикации: 1996-01-23.

Polishing pad conditioning system and method of using

Номер патента: US20240009801A1. Автор: Wen Yen Kung. Владелец: TSMC Nanjing Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-11.

Cmp composition and methods for polishing rigid disks

Номер патента: MY186924A. Автор: Zhang Ke,WHITE Michael,Li Tong,PALANISAMY CHINNATHAMBI Selvaraj. Владелец: Cmc Mat Inc. Дата публикации: 2021-08-26.

Method of using polishing pad

Номер патента: US20230339068A1. Автор: Sheng-Chen Wang,Jung-Yu Li,Chunhung Chen,Shih-Sian HUANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-10-26.

Optical connector polishing pad

Номер патента: US20220219280A1. Автор: Kenji Aoki,Naoki Sugita,Masaaki Konishi. Владелец: NTT Advanced Technology Corp. Дата публикации: 2022-07-14.

CMP polishing pad with enhanced rate

Номер патента: US12138737B2. Автор: Mohammad T. Islam. Владелец: Rohm And Haas Electronic Materials Holdings Inc. Дата публикации: 2024-11-12.

Polishing pads with improved planarization efficiency

Номер патента: WO2023219783A1. Автор: Ashwin CHOCKALINGAM,Shiyan Akalanka Jayanath WEWALA GONNAGAHADENIYAGE. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-11-16.

Polishing pads with improved planarization efficiency

Номер патента: US20230364735A1. Автор: Ashwin CHOCKALINGAM,Shiyan Akalanka Jayanath WEWALA GONNAGAHADENIYAGE. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-16.

Window in thin polishing pad

Номер патента: US11826875B2. Автор: Yongqi Hu,Kadthala Ramaya Narendrnath,Thomas Lawrence Terry. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-28.

Polishing method, polishing agent and cleaning agent for polishing

Номер патента: US11986920B2. Автор: Yukiteru Matsui,Yumiko Kataoka,Mikiya Sakashita. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-05-21.

Wafer polishing method

Номер патента: US20050118933A1. Автор: Toshiyuki Sakai. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-06-02.

Moisture sensor, polishing device and method for measuring the moisture in a polishing pad

Номер патента: US20220390403A1. Автор: Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: University of Turku . Дата публикации: 2022-12-08.

Chemical mechanical polishing pad and polishing method

Номер патента: US11813713B2. Автор: Teresa Brugarolas Brufau,Bryan E. Barton. Владелец: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc. Дата публикации: 2023-11-14.

Moisture sensor, polishing device and method for measuring the moisture in a polishing pad

Номер патента: WO2021099682A1. Автор: Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: TURUN YLIOPISTO. Дата публикации: 2021-05-27.

Moisture sensor, polishing device and method for measuring the moisture in a polishing pad

Номер патента: EP4062162A1. Автор: Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: University of Turku . Дата публикации: 2022-09-28.

Moisture sensor, polishing device and method for measuring the moisture in a polishing pad

Номер патента: CA3161145A1. Автор: Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: University of Turku . Дата публикации: 2021-05-27.

Moisture sensor, polishing device and method for measuring the moisture in a polishing pad

Номер патента: AU2020387657A1. Автор: Arto PELTOLA,Tatu PELTOLA. Владелец: University of Turku . Дата публикации: 2022-05-26.

Wafer polishing method

Номер патента: US7014536B2. Автор: Toshiyuki Sakai. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2006-03-21.

CMP polishing pad

Номер патента: US6217426B1. Автор: Gopalakrishna B. Prabhu,Steven T. Mear,Robert D. Tolles,Hung Chen,Steven Zuniga. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-04-17.

Thin polishing pad with window and molding process

Номер патента: WO2008154185A2. Автор: Thomas H. Osterheld,Dominic J. Benvegnu,Boguslaw A. Swedek,Jimin Zhang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2008-12-18.

Method for a copper CMP endpoint detection system

Номер патента: US6517413B1. Автор: Chen-Fa Lu,Tien-Chen Hu,Jin-Churng Twu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2003-02-11.

Recycled polishing pad

Номер патента: US11541504B2. Автор: Yoon Ho Kim,Seung Taek Oh,Young Jun Yoo,Bong Su Ahn,Pal Kon Kim,Si Hyeong Kim,Jin Ok Moon. Владелец: FNS Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-01-03.

Polishing apparatus and polishing method

Номер патента: US20240300068A1. Автор: Hiroto Yamada,Taro Takahashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-09-12.

Optical coupler hub for chemical-mechanical-planarization polishing pads with an integrated optical waveguide.

Номер патента: US20030190866A1. Автор: Stephan Wolf. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-10-09.

Recycled polishing pad

Номер патента: US20200238472A1. Автор: Yoon Ho Kim,Seung Taek Oh,Young Jun Yoo,Bong Su Ahn,Pal Kon Kim,Si Hyeong Kim,Jin Ok Moon. Владелец: FNS Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-07-30.

Apparatus and method for polishing a flat surface using a belted polishing pad

Номер патента: US6059643A. Автор: Burford J. Furman,Albert Hu,Mohamed Abushaban. Владелец: Aplex Inc. Дата публикации: 2000-05-09.

Polishing methods and apparatus

Номер патента: US7201634B1. Автор: Erdem Kaltalioglu,Markus Naujok. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2007-04-10.

Elastic polishing tool and lens polishing method

Номер патента: US7413503B2. Автор: Keiko Kitamura,Yoshinori Tabata. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2008-08-19.

Polishing method and polishing apparatus for workpiece

Номер патента: US20230311267A1. Автор: Toshifumi Kimba. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-10-05.

Polishing methods and apparatus for semiconductor and integrated circuit manufacture

Номер патента: WO2001091969A3. Автор: Albert H Liu,Nelson W Ii White. Владелец: Philips Semiconductors Inc. Дата публикации: 2002-05-23.

Method and apparatus for improved conditioning of polishing pads

Номер патента: US5941762A. Автор: Yuli Verhovsky,Michael A. Ravkin,Ilya A. Ravkin. Владелец: Individual. Дата публикации: 1999-08-24.

Substrate and method for producing the same

Номер патента: EP4299245A1. Автор: Harunobu Matsui,Daijitsu Harada,Masaki Takeuchi,Naoki YARITA. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-03.

Methods for removing deposits on the surface of a chamber component

Номер патента: US20240017299A1. Автор: Han Wang,Tuochuan Huang,Kenneth Chien,Min Shen,Stayce Parmer,Rynn Wang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-01-18.

Substrate and method for producing the same

Номер патента: US20230398655A1. Автор: Harunobu Matsui,Daijitsu Harada,Masaki Takeuchi,Naoki YARITA. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Polishing pad

Номер патента: US20140154962A1. Автор: Seiji Fukuda,Shigetaka Kasai,Ryoji Okuda,Nana Takeuchi. Владелец: TORAY INDUSTRIES INC. Дата публикации: 2014-06-05.

Method of fabricating polishing pad having detection window thereon

Номер патента: US7875335B2. Автор: Wen-Chang Shih,Yung-Chung Chang,Min-Kuei Chu,Lung-Chen Wei. Владелец: Iv Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2011-01-25.

UV-curable resins used for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: US11807710B2. Автор: Ping Huang,Chen-Chih Tsai,Eric S. Moyer. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-11-07.

Uv-curable resins used for chemical mechanical polishing pads

Номер патента: EP4229104A1. Автор: Ping Huang,Chen-Chih Tsai,Eric S. Moyer. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-08-23.

Polishing pad employing polyamine and cyclohexanedimethanol curatives

Номер патента: US11845156B2. Автор: Lin Fu,Rui Ma,Chen-Chih Tsai,Jaeseok Lee,Sarah BROSNAN. Владелец: CMC Materials LLC. Дата публикации: 2023-12-19.

Apparatus and method for glass ball lens polishing

Номер патента: US6135867A. Автор: Faisal A. NABULSI,Frederick A. Yeagle,Brian D. Potteiger. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2000-10-24.

Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium

Номер патента: US20010055935A1. Автор: Takemi Miyamoto. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2001-12-27.

Use of abrasive tape conveying assemblies for conditioning polishing pads

Номер патента: US5944585A. Автор: Ronald J. Nagahara,Dawn M. Lee. Владелец: LSI Logic Corp. Дата публикации: 1999-08-31.

Additive manufacturing of polishing pads

Номер патента: EP4028440A1. Автор: Sivapackia Ganapathiappan,Srobona SEN,Atul Bhaskar Chaudhari. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-07-20.

Additive manufacturing of polishing pads

Номер патента: US12006442B2. Автор: Sivapackia Ganapathiappan,Srobona SEN,Atul Bhaskar Chaudhari. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-11.

Multilayer pads and methods of manufacture employing thermal bonding

Номер патента: WO2012012730A1. Автор: Marilyn S. Woods,James M. Woods. Владелец: Woods Marilyn S. Дата публикации: 2012-01-26.

Multilayer pads and methods of manufacture employing thermal bonding

Номер патента: US20120021187A1. Автор: Marilyn S. Woods,James M. Woods. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-01-26.

Multilayer pads and methods of manufacture employing thermal bonding

Номер патента: US20150089760A1. Автор: Marilyn S. Woods,James M. Woods. Владелец: Individual. Дата публикации: 2015-04-02.

Multilayer pads and methods of manufacture employing thermal bonding

Номер патента: US9051669B2. Автор: Marilyn S. Woods,James M. Woods. Владелец: Individual. Дата публикации: 2015-06-09.

Method for manufacturing friction material of brake pad and apparatus thereof

Номер патента: KR100813498B1. Автор: 김용웅. Владелец: 주식회사 한국베랄. Дата публикации: 2008-03-13.

Method for for manufacturing reinforcing fabric for a transmission belt

Номер патента: EP3263947B1. Автор: Toshihiro Nishimura,Taisuke Kimura,Masakuni Yoshida. Владелец: Mitsuboshi Belting Ltd. Дата публикации: 2023-12-06.

Treated fabric for padding, method and device for manufacturing thereof

Номер патента: KR101262937B1. Автор: 박동운. Владелец: 주식회사 풍신레포츠. Дата публикации: 2013-05-09.

Method for determining shape of via hole reverse pad and printed circuit board

Номер патента: CN111050493B. Автор: 孙跃. Владелец: ZTE Corp. Дата публикации: 2022-10-11.

METHOD FOR MAKING METAL PATTERNS IN RELIEF ON A VARNISHED AND POLISHED SURFACE

Номер патента: FR2661136A1. Автор: Rousset Michel. Владелец: FRAPORLUX SA. Дата публикации: 1991-10-25.

Diamond polishing pad caddy

Номер патента: US8091705B1. Автор: David L. McCutchen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-01-10.

Double-sided pressure-sensitive adhesive sheet, polishing member, and surface plate with polishing pad

Номер патента: US20220195258A1. Автор: Tadashi Abe. Владелец: Toyochem Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-23.

Method for manufacturing can contianer and manufacturing apparatus

Номер патента: US20240317456A1. Автор: Rio Miyashita,Masahiro Shiotani. Владелец: Daiwa Can Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Protection pad and method for manufacturing the same

Номер патента: WO2009035888A2. Автор: Weilai Jiang. Владелец: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY. Дата публикации: 2009-03-19.

Method and apparatus for manufacturing a suspension pad and corresponding suspension pad

Номер патента: WO2008095732A1. Автор: Olivier Vanthournout. Владелец: L&P SWISS HOLDING AG. Дата публикации: 2008-08-14.

Method for manufacturing a brake pad preform and a brake pad, and related brake pad

Номер патента: EP4405314A1. Автор: Massimo Rosa,Omar Cividini. Владелец: Brembo SpA. Дата публикации: 2024-07-31.

Method and device for manufacturing wearable article

Номер патента: US20240262648A1. Автор: Takashi Arima. Владелец: Zuiko Corp. Дата публикации: 2024-08-08.

Printed circuit board and method for manufacturing the same

Номер патента: US12133329B2. Автор: Su Min SONG. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-29.

Device and method for manufacturing pressed brick workpieces

Номер патента: RU2761452C2. Автор: Лотар БАУЭРЗАХС. Владелец: Лангенштайн И Шеманн Гмбх. Дата публикации: 2021-12-08.

Sound absorbing material and method for manufacture thereof

Номер патента: RU2667584C2. Автор: Кеун Йоунг КИМ,Вон Дзин СЕО. Владелец: Хендэ Мотор Компани. Дата публикации: 2018-09-21.

Insulated structure for tank and method for manufacture thereof

Номер патента: RU2676630C2. Автор: Марк ЭЛЬБИНГ,Нильс МОМАЙЕР,Бернд ФРИККЕ. Владелец: БАСФ СЕ. Дата публикации: 2019-01-09.

Method for manufacturing a handle

Номер патента: RU2676112C2. Автор: Карл-Олоф ХОЛМ,Йоуни РИИКОНЕН. Владелец: Фискарс Финлэнд Ой Аб. Дата публикации: 2018-12-26.

Polishing pad cleaning composition and polishing pad cleaning method

Номер патента: JP4945857B2. Автор: 雅幸 服部,民智明 安藤,信夫 川橋. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2012-06-06.

Method for manufacturing a high-bulk bio-pad and high-bulk bio-pad manufactured by the same

Номер патента: KR101999929B1. Автор: 김동성,성용주. Владелец: 충남대학교산학협력단. Дата публикации: 2019-07-12.

Method for manufacturing a cellulose or cotton pad and pad obtained by this method

Номер патента: CH613114A5. Автор: Ulrich Hochstrasser. Владелец: Baumgartner Papiers Sa. Дата публикации: 1979-09-14.

Method for manufacturing magnetic-disk glass substrate

Номер патента: MY178448A. Автор: Ken Tamura,Junpei Fukada. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2020-10-13.

Method for manufacturing magnetic-disk substrate and magnetic-disk substrate

Номер патента: MY178489A. Автор: Yoshihiro Tawara. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2020-10-14.

Method for manufacturing a spectacle-glass for myopes

Номер патента: CA1263013A. Автор: Lars Hellström. Владелец: Optimed Nv. Дата публикации: 1989-11-21.

Joining method for optical part

Номер патента: US20190315646A1. Автор: Yasushi Tanno. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2019-10-17.

Method for manufacturing bristle arrangements, and device for manufacturing bristle arrangements

Номер патента: US20160015162A1. Автор: Ingo Kumpf. Владелец: ZAHORANSKY AG. Дата публикации: 2016-01-21.

Method for manufacturing bristle arrangements, and device for manufacturing bristle arrangements

Номер патента: US09986816B2. Автор: Ingo Kumpf. Владелец: ZAHORANSKY AG. Дата публикации: 2018-06-05.

Keyboard and method for manufacturing the same

Номер патента: US20040159226A1. Автор: Jung-O Koo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-08-19.

Keyboard and method for manufacturing the same

Номер патента: US7034219B2. Автор: Jung-O Koo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-04-25.

Touch panel and method for manufacturing the same

Номер патента: US09612694B2. Автор: Teng-Fu Tung. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2017-04-04.

Methods and systems for providing training data for manufacturing processes

Номер патента: EP4432024A1. Автор: Murat Samil Aslan. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2024-09-18.

Method of Regenerating a Polishing Pad Using a Polishing Pad Sub Plate

Номер патента: US20120003903A1. Автор: SUZUKI Eisuke,SUZUKI Tatsutoshi. Владелец: Toho Engineering. Дата публикации: 2012-01-05.

High-rate cmp polishing method

Номер патента: MY201106A. Автор: John Vu Nguyen Mr,Tony Quan Tran Mr,Jeffrey James Hendron Mr,Jeffrey Robert Stack Mr. Владелец: Rohm & Haas Elect Materials Cmp Holdings Inc. Дата публикации: 2024-02-06.

METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20120003823A1. Автор: Sasaki Makoto,NISHIGUCHI Taro,HARADA Shin,Okita Kyoko,Namikawa Yasuo. Владелец: Sumitomo Electric Industries, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

Detection device and method for surface structure of a polishing pad dresser

Номер патента: TW200826173A. Автор: Chien-Min Sung,Ying-Yung Chen,Choung-Lii Chao. Владелец: Choung-Lii Chao. Дата публикации: 2008-06-16.

Polishing pad fixing tape and polishing pad

Номер патента: JP6372662B2. Автор: 智浩 岩尾. Владелец: Fujibo Holdins Inc. Дата публикации: 2018-08-15.

Polishing pad manufacturing method and polishing pad

Номер патента: CN102211319A. Автор: 冯崇智,姚伊蓬,王良光,洪永璋. Владелец: San Fang Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-12.

Chemical mechanical polishing pad and chemical mechanical polishing method

Номер патента: JP4697399B2. Автор: 浩司 志保,隆浩 岡本,裕之 宮内. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2011-06-08.

Chemical mechanical polishing pad and chemical mechanical polishing method

Номер патента: JP4645825B2. Автор: 浩司 志保,秀樹 西村,幸生 保坂,裕之 田野. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2011-03-09.

Polishing pad and semiconductor wafer polishing method

Номер патента: JP4606733B2. Автор: 雅彦 中森,哲生 下村,孝敏 山田,一幸 小川,公浩 渡邉,淳 数野. Владелец: Toyo Tire and Rubber Co Ltd. Дата публикации: 2011-01-05.

Polishing pad for CMP and polishing apparatus using the same

Номер патента: JP3229986B2. Автор: 彰 石川. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2001-11-19.

Polishing pad for CMP and polishing method using the same

Номер патента: JP4563025B2. Автор: 雅彦 中森,哲生 下村,孝敏 山田,一幸 小川,淳 数野,毅 木村. Владелец: Toyo Tire and Rubber Co Ltd. Дата публикации: 2010-10-13.

Polishing pad arranging device and polishing device

Номер патента: CN203426856U. Автор: 唐强,张溢钢. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp. Дата публикации: 2014-02-12.

Polishing method, polishing apparatus and GaN wafer

Номер патента: US20120001193A1. Автор: YAMAUCHI Kazuto,Sano Yasuhisa,MURATA Junji,YAGI Keita,Sadakuni Shun. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Uniform cmp polishing method

Номер патента: MY201367A. Автор: John Vu Nguyen Mr,Tony Quan Tran Mr,Jeffrey James Hendron Mr,Jeffrey Robert Stack Mr. Владелец: Rohm & Haas Elect Materials Cmp Holdings Inc. Дата публикации: 2024-02-20.

Improvements in Holders for Polishing Pads and the like.

Номер патента: GB190412316A. Автор: Charles Berry Hammerton. Владелец: Individual. Дата публикации: 1905-03-30.

Improvements in Knife Cleaning and Polishing Machines.

Номер патента: GB190204785A. Автор: Henry Allen Pryor,Herbert Lawson. Владелец: Individual. Дата публикации: 1903-02-25.

A New Polishing Pad

Номер патента: GB190212809A. Автор: Thomas Wild,Harry Barton. Владелец: Individual. Дата публикации: 1903-05-14.

Improvements in Polishing Pads for Boots, Shoes and the like.

Номер патента: GB190319241A. Автор: . Владелец: S D Page & Sons Ltd. Дата публикации: 1904-07-14.

METHOD, SYSTEM AND MOLDING TOOL FOR MANUFACTURING COMPONENTS FROM COMPOSITE FIBER MATERIALS

Номер патента: US20120003480A1. Автор: BECHTOLD Michael,JUNG Manuel. Владелец: AIRBUS OPERATIONS GMBH. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE SENSOR AND MANUFACTURING METHOD FOR SAME

Номер патента: US20120003776A1. Автор: Park Sang Hyuk. Владелец: Intellectual Ventures II LLC. Дата публикации: 2012-01-05.

Chemical mechanical polishing pad having holes and/or grooves

Номер патента: MY137114A. Автор: KIM Jaeseok,KWON Tae-Kyoung,Park Inha. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-12-31.

Systems and Methods for Prevention of Open Loop Damage During or Immediately After Manufacturing

Номер патента: US20120000515A1. Автор: Kikinis Dan,Hadar Ron,Arditi Shmuel. Владелец: TIGO ENERGY, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120001324A1. Автор: Watabe Hiroshi,AOKI Hideo,MUKAIDA Hideko,Fukuda Masatoshi,Koshio Yasuhiro. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

Chemical mechanical polishing pad having wave-shaped grooves

Номер патента: MY137105A. Автор: KIM Jaeseok,KWON Tae-Kyoung,Park Inha,Hwang In-Ju. Владелец: SKC Co Ltd. Дата публикации: 2008-12-31.

METHOD FOR MANUFACTURING A DROPLET DISCHARGE HEAD

Номер патента: US20120000595A1. Автор: Mase Atsushi,Shimizu Hideki,TANAKA Hidehiko. Владелец: NGK Insulators, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

NANOPOROUS FILMS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120000845A1. Автор: Park Han Oh,Kim Jae Ha,JIN Myung Kuk. Владелец: BIONEER CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

FLEXIBLE SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20120001173A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING OF SAME

Номер патента: US20120001321A1. Автор: IMAMURA Tomomi,Natsuda Tetsuo,Nishijo Yoshinosuke. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING POWER STORAGE DEVICE

Номер патента: US20120003139A1. Автор: Kawakami Takahiro,Miwa Takuya. Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

FLAME-RETARDANT POLY LACTIC ACID-CONTAINING FILM OR SHEET, AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF

Номер патента: US20120003459A1. Автор: . Владелец: NITTO DENKO CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20120003811A1. Автор: . Владелец: Sumitomo Electric Industries, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING A DROPLET DISCHARGE HEAD

Номер патента: US20120003902A1. Автор: Mase Atsushi,Shimizu Hideki,TANAKA Hidehiko. Владелец: NGK Insulators, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING PASTE-TYPE ELECTRODE OF LEAD-ACID BATTERY AND APPARATUS THEREFOR

Номер патента: US20120000070A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method and Device for Manufacturing a Three-Layer Cord of the Type Rubberized in Situ

Номер патента: US20120000174A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING AMINO ACID LIQUID FERTILIZER USING LIVESTOCK BLOOD AND AMINO ACID LIQUID FERTILIZER MANUFACTURED THEREBY

Номер патента: US20120000260A1. Автор: Oh Jin Yeol. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

COMPOSITE GEAR BLANK AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20120000307A1. Автор: Oolderink Rob,Nizzoli Ermanno,Vandenbruaene Hendrik. Владелец: QUADRANT EPP AG. Дата публикации: 2012-01-05.

Solar Cell And Method For Manufacturing Solar Cell

Номер патента: US20120000512A1. Автор: HASHIMOTO Masanori,SAITO Kazuya,SHIMIZU Miho. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Methods for Manufacturing a Vacuum Chamber and Components Thereof, and Improved Vacuum Chambers and Components Thereof

Номер патента: US20120000811A1. Автор: . Владелец: Kurt J. Lesker Company. Дата публикации: 2012-01-05.

CONNECTING MATERIAL, METHOD FOR MANUFACTURING CONNECTING MATERIAL AND SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120000965A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Semiconductor Device and Method for Manufacturing the Same

Номер патента: US20120001180A1. Автор: Yoshizumi Kensuke,YOKOI Tomokazu. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method for manufacturing thin film capacitor and thin film capacitor obtained by the same

Номер патента: US20120001298A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20120001331A1. Автор: . Владелец: KABUSHI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

MANUFACTURING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD FOR SPARK PLUGS

Номер патента: US20120001532A1. Автор: Kyuno Jiro,Kure Keisuke. Владелец: NGK SPARK PLUG CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

DUST CORE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120001719A1. Автор: Oshima Yasuo,Handa Susumu,Akaiwa Kota. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

OPTICAL ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120002285A1. Автор: Matsuda Manabu. Владелец: FUJITSU LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

DECORATION FILM, DECORATION DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DECORATION DEVICE

Номер патента: US20120003441A1. Автор: CHEN CHIA-FU. Владелец: SIPIX CHEMICAL INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

HOLLOW MEMBER AND AN APPARATUS AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE

Номер патента: US20120003496A1. Автор: Tomizawa Atsushi,Kubota Hiroaki. Владелец: Sumitomo Metal Industries, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

ENERGY STORAGE DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120003535A1. Автор: Yamazaki Shunpei. Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

ELECTRODE STRUCTURE, CAPACITOR, BATTERY, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRODE STRUCTURE

Номер патента: US20120003544A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING GALLIUM NITRIDE WAFER

Номер патента: US20120003824A1. Автор: Lee Ho-jun,KIM Yong-Jin,Lee Dong-Kun,Kim Doo-Soo,Lee Kye-Jin. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

MAGNESIUM DIBORIDE SUPERCONDUCTING WIRE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20120004110A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Ink-pad and method for its manufacture

Номер патента: RU2172260C2. Автор: А.К. Козлов. Владелец: Открытое акционерное общество "Мастер штамп". Дата публикации: 2001-08-20.

METHOD FOR MANUFACTURING SCANDIUM ALUMINUM NITRIDE FILM

Номер патента: US20120000766A1. Автор: Kano Kazuhiko,Nishikubo Keiko,TESHIGAHARA Akihiko,AKIYAMA Morito,Tabaru Tatsuo. Владелец: Denso Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING AN IMAGE SENSOR

Номер патента: US20120001287A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

DECORATION FILM, DECORATION DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DECORATION DEVICE

Номер патента: US20120003433A1. Автор: . Владелец: SIPIX CHEMICAL INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

Apparatus for Manufacturing Thin Film Photovoltaic Devices

Номер патента: US20120003789A1. Автор: . Владелец: Stion Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING EMBEDDED SUBSTRATE

Номер патента: US20120003793A1. Автор: HWANG Sun-Uk,Cho Young-Woong,Yoon Kyoung-Ro. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SOLAR CELL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120000517A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Lead Frame and Method For Manufacturing the Same

Номер патента: US20120001307A1. Автор: . Владелец: LG INNOTEK CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

FILLET WELD JOINT AND METHOD FOR GAS SHIELDED ARC WELDING

Номер патента: US20120003035A1. Автор: Suzuki Reiichi,Kinefuchi Masao,KASAI RYU. Владелец: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.). Дата публикации: 2012-01-05.

CASTING METHOD FOR MANUFACTURING A WORK PIECE

Номер патента: US20120003101A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Methods and Apparatus for Manufacturing Plasma Based Plastics and Bioplastics Produced Therefrom

Номер патента: US20120003193A1. Автор: Burgess James E.,Smith Jason,Campbell Phil G.,Weiss Lee E.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Methods and Apparatus for Manufacturing Plasma Based Plastics and Bioplastics Produced Therefrom

Номер патента: US20120003279A1. Автор: Burgess James E.,Smith Jason,Campbell Phil G.,Weiss Lee E.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS FOR INDUCING AN IMMUNE RESPONSE

Номер патента: US20120003298A1. Автор: Maj Roberto,Pattarino Franco,Mura Emanuela,Barberis Alcide. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Methods and Apparatus for Manufacturing Plasma Based Plastics and Bioplastics Produced Therefrom

Номер патента: US20120003324A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

OPTICAL MODULATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20120003767A1. Автор: . Владелец: NEC Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

SOLAR CELL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120003781A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING METAL GATE STACK STRUCTURE IN GATE-FIRST PROCESS

Номер патента: US20120003827A1. Автор: Xu Qiuxia,Li Yongliang. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRIC WIRE WITH TERMINAL

Номер патента: US20120000069A1. Автор: Hirai Hiroki,Tanaka Tetsuji,Ono Junichi,Otsuka Takuji,Shimoda Hiroki,HAGI Masahiro. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR PRODUCING OPTICAL FIBER PREFORM

Номер патента: US20120000249A1. Автор: HAMADA Takahiro. Владелец: FUJIKURA LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING PLASTIC LABELS WITH SELF-ADHESIVE PATTERN, AND ATTACHING SUCH LABELS TO A TIN

Номер патента: US20120000598A1. Автор: . Владелец: REYNDERS ETIKETTEN, NAAMLOZE VENNOOTSCHAP. Дата публикации: 2012-01-05.

Semiconductor Light Emitting Device and Method for Manufacturing the Same

Номер патента: US20120001202A1. Автор: Horng Ray-Hua. Владелец: NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR PRODUCING ANISOPTROPIC BULK MATERIALS

Номер патента: US20120001368A1. Автор: Filippov Andrey V.,Milia Charlotte Diane. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

DISPLAY DEVICE FOR A VEHICLE AND METHOD FOR PRODUCING THE DISPLAY DEVICE

Номер патента: US20120002442A1. Автор: . Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC. Дата публикации: 2012-01-05.

Method for Preparing Small Volume Reaction Containers

Номер патента: US20120003675A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120003801A1. Автор: . Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

DEVICES AND METHODS FOR CUTTING AND EVACUATING TISSUE

Номер патента: US20120004595A1. Автор: DUBOIS Brian R.,NIELSEN James T.,GORDON Alexander. Владелец: LAURIMED, LLC. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR AUTOMATICALLY SHIFTING A BASE LINE

Номер патента: US20120004890A1. Автор: Chen Po-Tsang. Владелец: INOTERA MEMORIES, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

Method for manufacturing canned food "poultry chakhokhbili"

Номер патента: RU2315503C1. Автор: Олег Иванович Квасенков. Владелец: Олег Иванович Квасенков. Дата публикации: 2008-01-27.

Method for manufacturing canned food "noodle with sauce"

Номер патента: RU2303929C1. Автор: Олег Иванович Квасенков. Владелец: Олег Иванович Квасенков. Дата публикации: 2007-08-10.