Chamber equipment, target generation method and extreme ultraviolet light generation equipment
Номер патента: JP6763959B2
Опубликовано: 30-09-2020
Автор(ы): 孝信 石原
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-09-2020
Автор(ы): 孝信 石原
Принадлежит: GIGAPHOTON INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extreme ultraviolet light generation apparatus and electronic device manufacturing method
Номер патента: NL2032043B1. Автор: Miyashita Koutaro. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2024-05-17.