EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION METHOD
Номер патента: US20170127505A1
Опубликовано: 04-05-2017
Автор(ы): Atsushi Sunahara, Georg Soumagne, Hideo Hoshino, Yoshifumi Ueno
Принадлежит: GIGAPHOTON INC, Institute for Laser Technology
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-05-2017
Автор(ы): Atsushi Sunahara, Georg Soumagne, Hideo Hoshino, Yoshifumi Ueno
Принадлежит: GIGAPHOTON INC, Institute for Laser Technology
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extreme ultraviolet light generation apparatus
Номер патента: US20130161540A1. Автор: Osamu Wakabayashi,Shinji Nagai. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2013-06-27.