Method of dicing thin semiconductor substrates
Номер патента: US20160013105A1
Опубликовано: 14-01-2016
Автор(ы): Guido Martinus Henricus Knippels, Juergen Roland BETZ, Karel Maykel Richard Van Der Stam, Mark Christian MUELLER
Принадлежит: ASM TECHNOLOGY SINGAPORE PTE LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-01-2016
Автор(ы): Guido Martinus Henricus Knippels, Juergen Roland BETZ, Karel Maykel Richard Van Der Stam, Mark Christian MUELLER
Принадлежит: ASM TECHNOLOGY SINGAPORE PTE LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of wafer dicing and manufacturing method of semiconductor devices using the same
Номер патента: US20240290658A1. Автор: Jimin Kim,Youngchul KWON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-29.