Method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: US20110207334A1
Опубликовано: 25-08-2011
Автор(ы): Eun-Kee Hong, Gil-heyun Choi, Ha-Young YI, Hong-Gun Kim, Yong-Soon Choi
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-08-2011
Автор(ы): Eun-Kee Hong, Gil-heyun Choi, Ha-Young YI, Hong-Gun Kim, Yong-Soon Choi
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods of fabricating isolation regions of semiconductor devices and structures thereof
Номер патента: US09653543B2. Автор: Roland Hampp,Armin Tilke,Marcus Culmsee,Chris Stapelmann,Bee Kim Hong. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-05-16.