NITRIDE SEMICONDUCTOR WAFER, NITRIDE SEMICONDUCTOR ELEMENT, AND METHOD FOR MANUFACTURING NITRIDE SEMICONDUCTOR WAFER
Номер патента: US20140361345A1
Опубликовано: 11-12-2014
Автор(ы): Kaneko Kei, KATSUNO Hiroshi, Kushibe Mitsuhiro, Ohba Yasuo, Tajima Jumpei, Yamada Shinji
Принадлежит: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-12-2014
Автор(ы): Kaneko Kei, KATSUNO Hiroshi, Kushibe Mitsuhiro, Ohba Yasuo, Tajima Jumpei, Yamada Shinji
Принадлежит: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Nitride semiconductor substrate having recesses at interface between base substrate and initial nitride
Номер патента: US09748344B2. Автор: Hiroshi Oishi,Tomoko Watanabe,Yoshihisa Abe,Jun Komiyama,Noriko Omori,Kenichi Eriguchi. Владелец: CoorsTek KK. Дата публикации: 2017-08-29.