Radiation-sensitive composition, method for forming silica-based coating, silica-based coating, apparatus and member provided with silica-based coating, and photosensitive agent for insulating film
Номер патента: JP5077237B2
Опубликовано: 21-11-2012
Автор(ы): 圭 粕谷, 大介 龍崎, 恭子 小島, 浩一 阿部, 鋼志 丸山, 陽介 青木
Принадлежит: Hitachi Chemical Co Ltd, Showa Denko Materials Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-11-2012
Автор(ы): 圭 粕谷, 大介 龍崎, 恭子 小島, 浩一 阿部, 鋼志 丸山, 陽介 青木
Принадлежит: Hitachi Chemical Co Ltd, Showa Denko Materials Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Ultraviolet light sensitive photoinitiator compositions, use thereof and radiation sensitive compositions
Номер патента: US5059512A. Автор: Jeffrey D. Gelorme,Jane M. Shaw,Kevin J. Stewart,Michael Hatzakis,Edward D. Babich,David F. Witman. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1991-10-22.