放射線感応性組成物及びそれを用いたパタ−ン形成法
Номер патента: JPS61144639A
Опубликовано: 02-07-1986
Автор(ы): Hiroshi Shiraishi, Nobuaki Hayashi, Takashi Nishida, Takumi Ueno, 伸明 林, 巧 上野, 洋 白石, 西田 高
Принадлежит: HITACHI LTD
Опубликовано: 02-07-1986
Автор(ы): Hiroshi Shiraishi, Nobuaki Hayashi, Takashi Nishida, Takumi Ueno, 伸明 林, 巧 上野, 洋 白石, 西田 高
Принадлежит: HITACHI LTD
Реферат: (57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた め要約のデータは記録されません。
Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and resist film, pattern forming method, method for preparing electronic device, and electronic device, each using the same
Номер патента: US20130078426A1. Автор: Kei Yamamoto,Hidenori Takahashi,Shuhei Yamaguchi,Kosuke KOSHIJIMA. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2013-03-28.