Positive type photoresist film
Номер патента: KR101040994B1
Опубликовано: 16-06-2011
Автор(ы): 병 기 김, 병 일 이, 석 정 송, 세 형 박, 종 민 박
Принадлежит: 코오롱인더스트리 주식회사
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Photoresist film placing method, semiconductor device manufacturing method, electro-optical device, and electronic device
Номер патента: US9786501B2. Автор: Yoshiki Nakashima,Hiroshi Sera. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2017-10-10.