반도체 소자의 금속-절연체-금속 커패시터 형성 방법
Номер патента: KR100613280B1
Опубликовано: 21-08-2006
Автор(ы): 신은종
Принадлежит: 동부일렉트로닉스 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-08-2006
Автор(ы): 신은종
Принадлежит: 동부일렉트로닉스 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for fabricating a MIM capacitor
Номер патента: US09966425B1. Автор: Chun-Yuan Wu,Ai-Sen Liu,Chun-Ling Lin,Chin-Fu Lin,Ko-Wei Lin,Bin-Siang Tsai,Yen-Chen Chen,Kuo-Chih Lai,Yang-Ju Lu,Jen-Po Huang,Xu Yang Shen,Seng Wah Liau. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2018-05-08.