Evaluation system and a method for evaluating a substrate
Номер патента: US09835563B2
Опубликовано: 05-12-2017
Автор(ы): Doron Korngut, Haim Feldman, Ofer Adan, Ofer Shneyour, Ron Bar-Or, Ron Naftali, Yoram Uziel
Принадлежит: Applied Materials Israel Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-12-2017
Автор(ы): Doron Korngut, Haim Feldman, Ofer Adan, Ofer Shneyour, Ron Bar-Or, Ron Naftali, Yoram Uziel
Принадлежит: Applied Materials Israel Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
System and method of performing scanning probe microscopy on a substrate surface
Номер патента: US11320457B2. Автор: Roelof Willem HERFST,Anton Adriaan Bijnagte,Jan Jacobus Benjamin BIEMOND,Klara Maturova. Владелец: Nederlandse Organisatie voor Toegepast Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO. Дата публикации: 2022-05-03.