Robust gate spacer for semiconductor devices
Номер патента: US09570554B2
Опубликовано: 14-02-2017
Автор(ы): Effendi Leobandung, Tenko Yamashita
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-02-2017
Автор(ы): Effendi Leobandung, Tenko Yamashita
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor device having a corner spacer
Номер патента: US11769821B2. Автор: MING-CHING Chang,Chao-Cheng Chen,Shih-Yao Lin,Chih-Han Lin,Chen-Ping CHEN,Kuei-Yu Kao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-09-26.