Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
18-12-2003 дата публикации
Номер:
DE0010310470A1
Автор: LITZENBERG MICHAEL, LEWIN FRANK, MUELLER HARTWIG, VOGEL KLAUS, ARNOLD GREGOR, BEHLE STEPHAN, LUETTRINGHAUS-HENKEL ANDREAS, BICKER MATTHIAS, KLEIN JUERGEN, LITZENBERG, MICHAEL, LEWIN, FRANK, MUELLER, HARTWIG, VOGEL, KLAUS, ARNOLD, GREGOR, BEHLE, STEPHAN, LUETTRINGHAUS-HENKEL, ANDREAS, BICKER, MATTHIAS, KLEIN, JUERGEN
Принадлежит: SIG Technology AG
Контакты:
Номер заявки: 70-04-1031
Дата заявки: 11-03-2003
Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement positioniert. Das Werkstück wird durch das Halteelement derart beaufschlagt, daß das Werkstück in Richtung einer Kavitätenlängsachse positionsveränderlich geführt wird. Das Werkstück wird darüber hinaus in einer Behandlungspositionierung mit einem Mündungsbereich gegen eine Dichtung gedrückt.