Self-aligned silicide process for silicon sidewall source and drain contacts and structure formed thereby
Номер патента: TW546770B
Опубликовано: 11-08-2003
Автор(ы): Christian Lavoie, Cyril Cabral Jr, Guy Moshe Cohen, Kathryn Wilder Guarini, Kevin K Chan
Принадлежит: Ibm
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-08-2003
Автор(ы): Christian Lavoie, Cyril Cabral Jr, Guy Moshe Cohen, Kathryn Wilder Guarini, Kevin K Chan
Принадлежит: Ibm
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Self-aligned silicide process for silicon sidewall source and drain contacts and structure formed thereby
Номер патента: US20020155690A1. Автор: Ying Zhang,Guy Cohen,Paul Solomon,Kevin Chan,Christian Lavoie,Cyril Cabral,Kathryn Guarini. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2002-10-24.