Method for forming metal barrier film of semiconductor device
Номер патента: KR100310468B1
Опубликовано: 15-12-2001
Автор(ы): 고재완, 구영모, 김세정, 이우봉, 장형진, 전영호
Принадлежит: 박종섭, 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-12-2001
Автор(ы): 고재완, 구영모, 김세정, 이우봉, 장형진, 전영호
Принадлежит: 박종섭, 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor device manufacturing method for suppresing wiring material from being diffused into insulating film, storage medium and semiconductor device
Номер патента: US9240379B2. Автор: Kenji Matsumoto,Tatsufumi Hamada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-01-19.