Epitaxial silicon wafer having reduced stacking faults
Номер патента: US09755022B2
Опубликовано: 05-09-2017
Автор(ы): Gou Uesono, Masayuki Shinagawa, Naoya Nonaka, Tadashi Kawashima
Принадлежит: Sumco Corp, Sumco Techxiv Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-09-2017
Автор(ы): Gou Uesono, Masayuki Shinagawa, Naoya Nonaka, Tadashi Kawashima
Принадлежит: Sumco Corp, Sumco Techxiv Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Epitaxial silicon wafer
Номер патента: US20180197751A1. Автор: Toshiaki Ono,Yasuo Koike,Tomokazu Katano. Владелец: Sumco Corp. Дата публикации: 2018-07-12.