Method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: US09666477B2
Опубликовано: 30-05-2017
Автор(ы): Naofumi Ohashi, Satoshi Takano
Принадлежит: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-05-2017
Автор(ы): Naofumi Ohashi, Satoshi Takano
Принадлежит: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of forming ferroelectric film, ferroelectric memory, method of manufacturing the same, semiconductor device, and method of manufacturing the same
Номер патента: US6787371B2. Автор: Tatsuo Sawasaki. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2004-09-07.