EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION APPARATUS
Номер патента: US20140034852A1
Опубликовано: 06-02-2014
Автор(ы): ABE Tooru, KAKIZAKI Kouji, Wakabayashi Osamu
Принадлежит: Gigaphoton Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-02-2014
Автор(ы): ABE Tooru, KAKIZAKI Kouji, Wakabayashi Osamu
Принадлежит: Gigaphoton Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Extreme ultraviolet light generation apparatus
Номер патента: US09942973B2. Автор: Takashi Saito,Yoshifumi Ueno,Tamotsu Abe,Hirokazu HOSODA. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2018-04-10.