Method of fabricating the copper interconnection layer in semiconductor device
Номер патента: KR100687436B1
Опубликовано: 26-02-2007
Автор(ы): 김재홍, 천재익
Принадлежит: 동부일렉트로닉스 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-02-2007
Автор(ы): 김재홍, 천재익
Принадлежит: 동부일렉트로닉스 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Homogeneous copper interconnects for beol
Номер патента: EP1800335A1. Автор: Mahadevaiyer Krishnan,Kenneth P. Rodbell,Kevin S. Petrarca,Michael Lofaro. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2007-06-27.