Methods of fabricating a semiconductor memory device
Номер патента: US8927384B2
Опубликовано: 06-01-2015
Автор(ы): Jong-Kyu Kim, Junsoo Lee, Kukhan Yoon, Sangsup Jeong, SungII Cho, Yong-Joon Choi
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-01-2015
Автор(ы): Jong-Kyu Kim, Junsoo Lee, Kukhan Yoon, Sangsup Jeong, SungII Cho, Yong-Joon Choi
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of forming fine patterns in a semiconductor device and method of manufacturing an electronic device
Номер патента: US09805929B2. Автор: Yun Suk NAM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2017-10-31.